Gebraucht FEI ExSolve 2 WTP EFEM #9293813 zu verkaufen

FEI ExSolve 2 WTP EFEM
Hersteller
FEI
Modell
ExSolve 2 WTP EFEM
ID: 9293813
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2017
Focused Ion Beam (FIB) system, 12" 2017 vintage.
FEI ExSolve 2 WTP EFEM ist eine Ionenfräse für High-End-Anwender. Es bietet eine kontinuierliche nanoskalierte Oberflächenbearbeitung mit höchster Genauigkeit. Das System ist mit fortschrittlicher Hochvakuumtechnologie ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglicht, Luftmoleküle effektiv zu evakuieren und eine hocheffiziente Fräsumgebung zu schaffen. Dieses Merkmal hilft auch, eine Kontamination der Probenoberfläche während des Ionenfräsvorgangs zu verhindern. Diese Einheit eignet sich ideal für Anwendungen wie fortgeschrittene Materialforschung, Halbleiterprozesstechnik, Oberflächenanalyse und Herstellung von MEMS. Die Maschine ist mit einer integrierten Autofokus-Taste ausgestattet, die dem Benutzer hilft, glatte und genaue Oberflächenmorphologien beim Scannen und Fräsen von Materialien mit Submikron-Präzision zu erzielen. ExSolve 2 WTP EFEM enthält eine elektronenoptische Spalte, die eine optimale Auflösung und Fokustiefe für den Benutzer bietet. Das Tool verfügt über eine Hochgeschwindigkeits-Auto-Scan-Funktion, die eine ultrapräzise Bildgebung in niedrigen Erdumlaufbahnen ermöglicht. Darüber hinaus bieten die in die Anlage integrierten hochpräzisen Sputterreinigungs- und resistiven Targetsysteme zusätzliche Fräsmöglichkeiten, die auch auf die kompliziertesten Gerätestrukturen angewendet werden können. Das fortschrittliche Sputter-Abscheidungsmodell verfügt auch über eine breite Palette von Abscheide- und Fräsoptionen, einschließlich Magnetron-Sputtern, lineares, planares und kreisförmiges Sputtern und Substratstrahlätzen. FEI ExSolve 2 WTP EFEM verfügt auch über einen hochauflösenden analytischen Detektor, der eine effiziente Analyse und Interpretation der Materialstruktur ermöglicht. Diese Detektoren können eine breite Palette von Parametern messen, einschließlich Partikelgröße und -anzahl, elementare Zusammensetzung und elektrische Leitfähigkeit. Darüber hinaus ist dieses Gerät auch in der Lage, mit seinem Hochgeschwindigkeitsfräsen einen hohen Durchsatz zu erzielen, so dass Anwender mehr Flexibilität bei der Anwendung extrem empfindlicher oder komplexer Prozesse haben. Das System verfügt über eine Temperaturkalibrierung und -steuerung, die ein temperaturabhängiges Fräsen ermöglicht. Schließlich wird das Gerät mit einer Reihe von vorprogrammierten Rezepten für bestimmte Anwendungen geliefert, die eine einfachere Prozessautomatisierung und eine schnellere Umdrehungszeit ermöglichen.
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