Gebraucht FEI Helios 1200AT AFL #293600559 zu verkaufen
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ID: 293600559
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2013
Focused Ion Beam (FIB) system, 12"
2013 vintage.
FEI Helios 1200AT AFL ist ein fortschrittliches Ionenfrässystem zum Entfernen von ultradünnen Folien von verschiedenen Oberflächen. Dieses Werkzeug, Teil der FEI Helios Serie, bietet eine einzigartige Kombination aus Präzision und Geschwindigkeit. Helios 1200AT AFL verfügt über eine Reihe wichtiger Vorteile, einschließlich seiner Fähigkeit, sehr hohe Filmentfernungsraten mit niedrigen Ionenenergien zu erreichen. Es bietet auch hochgenaue Fräsen von Folien zu Dicken von 0,1 nm bis 2.000nm, und verbesserte Steuerbarkeit des Prozesses bis zum Angstrom-Niveau. Darüber hinaus bietet das Tool eine verbesserte Produktivität und große Prozessfensteroptimierung. FEI Helios 1200AT AFL basiert auf einer einzigen hochauflösenden Elektronensäule. Diese Säule ermöglicht die Erkennung und Fokussierung leistungsstarker Niederenergie-Ionen und ist damit ideal für ultradünne Filme und hochauflösende Fräsanwendungen. Die in diesem Werkzeug verwendete Ionenquelle ist eine einstellbare Öffnung, die die Fähigkeit bietet, die Öffnungsgröße und Genauigkeit für ein optimales kontrolliertes Fräsen abzustimmen. Dies wiederum ermöglicht die Charakterisierung und Manipulation von Filmen bis in die Angströmebene. Für eine erhöhte Materialselektivität umfasst Helios 1200AT AFL einen variablen Bereich von Strahlenergien von 10 keV bis 500 keV und ist damit ein leistungsstarkes Werkzeug für das Fräsen höchster Qualität. FEI Helios 1200AT AFL ist für die Aufrechterhaltung der Materialeigenschaften verschiedener Substrate optimiert und bietet gleichzeitig maximale Bedienbarkeit. Dieses System ist mit einem automatisierten Ausrichtsystem ausgestattet, das nach der Kalibrierung die Notwendigkeit häufiger manueller Optikeinstellungen negiert. Schließlich ist Helios 1200AT AFL mit einer benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche und mobiler Software ausgestattet. Dies bietet einen leistungsstarken Steuerungsmechanismus zur Optimierung und Steuerung der Prozesse sowie ein sicheres Protokoll zur Datenerfassung, -analyse und -verwaltung.
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