Gebraucht FEI Helios NanoLab 1200HP #9250534 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9250534
Wafergröße: 12"
Focused Ion Beam (FIB) system, 12"
Electron column:
Elster column, field emission gun
Beam voltage:
SEM: 350 V - 30 kV
Ion column:
Tomahawk, Ga liquid metal
1,500 Hours
FIB: 500 V - 30 kV
FIB Current: 1 pA - 65 Na
Image resolution:
SEM:
Visual resolution < 1.4 nm at 1 kV / 11 pA Mode ll WD 1.0 mm
Visual resolution < 1.0 nm at 15 kV / 11 pA Mode ll WD 4-5 mm
FIB:
Visual resolution < 4.0 nm at 30kV / 1.1 pA
5-Axes motorized stage (Tilt eucentric)
Load 8" / 12" wafer
Detectors:
TLD Detector
ICE Detector
STEM I Detector
OmniProbe 200 Plucker
Gas injection system:
Platinum deposition
IDEP lll Deposition.
FEI Helios NanoLab 1200HP ist eine innovative Ionenfräsanlage, die eine Reihe fortschrittlicher Fähigkeiten für das Feinfräsen im Nanoskala bietet. Das System verfügt über ein Dual-Strahl-Design mit Gallium-Ionen- und Elektronenquellen. Dies ermöglicht ein einzigartiges Schneide- und Strukturierungserlebnis, mit dem Benutzer in wenigen Minuten Funktionen und Oberflächen bis zu 30 nm erstellen können. Damit ist FEI Helios ideal für die Produktion von 3D MEMS/NEMS Komponenten und Geräten. Das Gerät umfasst eine automatisierte Probenmanipulationsmaschine, abstimmbare Fräsparameter und eine Benutzeroberfläche, die speziell für einen optimalen Betrieb entwickelt wurde. Mit einer intuitiven Benutzeroberfläche können Benutzer Mühlenparameter schnell einstellen, den Fortschritt beobachten und Parameter sofort anpassen. Dieses Werkzeug ermöglicht die dynamische Steuerung der Fräsbedingungen, so dass die perfekten Parameter für jedes zu bearbeitende Teil verfügbar sind. Darüber hinaus umfasst das Asset mehrere Quell- und Pistolenkonfigurationen sowie ein hochpräzises, geschlossenes Bewegungsmodell für maximalen Durchsatz. Die fortschrittliche Vakuumumgebung ermöglicht einen effektiven Maschinenbetrieb in einer abgedichteten Umgebung, wodurch Kontaminationen minimiert werden. Die Kammer ist voll von Edelgas - typischerweise Argon - und bietet Schadensschutz und erhöhte Fräsraten. Das Gerät beinhaltet auch ein integriertes Kühlsystem zur verbesserten Temperaturregelung. Schließlich stehen eine breite Palette von Gaszuführungen zur Verfügung, so dass das Gerät den Fräsprozess besser optimieren kann. Das Helios NanoLab bietet eine Reihe von Funktionen zur Verbesserung seiner Präzision und Produktivität. Seine dreiachsige geschlossene Bewegungsmaschine sorgt für eine genaue Teilepositionierung und sein fortschrittlicher Bewegungsregler ermöglicht hochfrequente Bewegungen. Eine intelligente Auto-Tuning-Funktion ermöglicht es Benutzern, die besten Fräsparameter für jeden bearbeiteten Teil leicht zu finden. Schließlich bietet das Tool verbesserte Sicherheitsfunktionen wie stoßfeste Hartachsen und Geräuschunterdrückungssysteme, um das Risiko von Beschädigungen oder Körperverletzungen zu minimieren. Das Helios NanoLab ist die perfekte Wahl für die Herstellung von Mikron- und Submikronstrukturen. Sein fortschrittliches Design ermöglicht schnelle Fräszeiten und überlegene Genauigkeit. Die benutzerfreundliche Oberfläche und die Palette fortschrittlicher Funktionen machen es ideal für Anwendungen in einer Vielzahl von Branchen wie Elektronik, Medizin, Luft- und Raumfahrt und Halbleiter. Ob Sie Dünnschichtkomponenten, MEMS-Geräte oder ultrahochpräzise Komponenten bearbeiten, Helios NanoLab 1200HP bietet zuverlässige, präzise Bearbeitung.
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