Gebraucht FEI Helios NanoLab 460HP #9192090 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9192090
Weinlese: 2014
Dual beam system
X-Ray spectrometers (EDS / WDS)
With resolution down to 30 nm
Specification:
Electron source:
Schottky thermal field emitter
Ion source:
Gallium liquid metal, 1000 hours
Landing voltage:
20 V – 30 kV SEM
500 V – 30 kV FIB
SEM Resolution:
Optimal WD:
0.6 nm at 2–15 kV
0.7 nm at 1 kV
1.5 nm at 200 V With beam deceleration
Coincident WD:
0.8 nm at 15 kV
0.9 nm at 5 kV
1.2 nm at 1 kV
FIB Resolution coincident WD:
4.0 nm at 30 kV (Using preferred statistical method)
2.5 nm at 30 kV (Using selective edge method)
EDS Resolution: < 30 nm On thinned samples
In situ TEM sample liftout: Easylift EX nanomanipulator
Stage:
(5) Axes all piezo motorized
XY Motion: 100 mm
Quickflip shuttle
Sample types:
Wafer pieces
Packaged parts
TEM
Grids
Whole wafers: Up to 100 mm
Maximum sample size:
Diameter: 100 mm
User interface:
Windows GUI
With integrated SEM, FIB, GIS, simultaneous patterning and imaging mode
(3) LCD Monitors: 24" Widescreen
Key options:
Beam chemistry:
Standard gas injection systems
Multichem gas delivery system
Hardware:
EDS
WDS & EBSD Analysis: No
2014 vintage.
FEI Helios NanoLab 460HP ist eine hochleistungsfähige, hochpräzise Ionenfräsanlage, die entwickelt wurde, um eine nanoskalige Herstellung einer Vielzahl von Materialien zu erreichen. Es nutzt energetische Ionen, um Oberflächenmaterial schnell und präzise von Substraten zu entfernen. Dieses Ionenfrässystem ist in der Lage, Materialien bis in die Nanoskala zu fräsen und kann für eine Vielzahl von technischen Anwendungen verwendet werden. Die Dual-Beam-FIB/SEM-Konfiguration des Geräts kombiniert die Feldemissionsrasterelektronenmikroskopie (FESEM) und die fokussierte Ionenstrahltechnologie (FIB). Die FIB kann zum Fräsen, Erstellen von Strukturmerkmalen und Ätzen komplexer strukturierter Strukturen auf einem Substrat verwendet werden. Helios NanoLab 460HP ermöglicht Substrattemperaturen bis 650 ° C und ermöglicht eine breite Palette von Materialbearbeitungsanwendungen. Die Maschine verfügt über eine Massenanalysefähigkeit, die in der Lage ist, Massenverluste während des Fräsens in Echtzeit zu überwachen; dies ist ein unschätzbares Werkzeug zur Steuerung und Änderung der Einheitlichkeit von gefrästen Strukturen. Das Werkzeug verfügt über eine einzigartige dreidimensionale Neigungsstufe, um das Fräsen in hohen Winkeln zu erleichtern. Es wurde auch für hochpräzise Navigation konzipiert, die eine präzise Ausrichtung der Fräsoperationen ermöglicht. Dies minimiert die Menge des Materials, das während des Fräsvorgangs vom Substrat entfernt wird, und hilft, mögliche Geräteschäden durch kollateralen Materialabtrag zu reduzieren. FEI Helios NanoLab 460HP verfügt auch über eine Feedback-Steuerung, um Prozessoptimierung und -überwachung zu erleichtern. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, den Zustand von Proben während der Verarbeitung zu überwachen, sowie Fräsraten zu überwachen. Alle diese KEs tragen zur allgemeinen höheren Kontrolle des Fräsvorgangs des Modells bei. Helios NanoLab 460HP ist so konzipiert, dass es anpassbar ist, und die Ausrüstung kann zusammen mit anderen Werkzeugen wie Ätz- und Ablagerungssystemen optimiert werden, um spezifische Kundenanforderungen zu erfüllen. Das System kann auch mit anderen Tools wie Datenspeicher-, Analyse- und Visualisierungssystemen zur Analyse von gefrästen Strukturen und Proben integriert werden. FEI Helios NanoLab 460HP ist eine revolutionäre Nanofabrikationseinheit, die eine präzise Steuerung und Materialabfuhr bis hin zum Nanoskala ermöglicht. Diese Maschine kann in einer Vielzahl von Branchen und Anwendungen eingesetzt werden und ermöglicht hochpräzise Fertigungen in kleinem Maßstab.
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