Gebraucht FEI / MICRION 2500 #9204443 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9204443
Focused Ion Beam (FIB) system
Ion beam data: Ga, 50 kV, 5 nm, 20 nA
Specimen stage: 75 mm x 75 mm, 5 axis
Detector: MCP
Data recording:
Digital output
Video printer
Gas:
Tungsten deposition
Tmcts insulator deposition
XeF2 Insulator etch
Chlorine metal etch
Vacuum system: Turbo with mechanical RP
Other component: CAD NAV.
FEI/MICRION 2500 ist eine fortschrittliche Ionenfräsanlage für präzise und vielseitige Fräsanwendungen. Es ist ideal für den Einsatz in der Nanotechnologie, Materialwissenschaft und Halbleiterverarbeitung. FEI 2500 verwendet eine Hochleistungs-Gallium-Ionen-Quelle, die einen Ionenstrahl zur Probenstufe erzeugt. Dadurch entsteht ein ultrafeines Ionenstrahlfräsen von Materialien bis zu 0,2 Nanometer. Darüber hinaus kann es verwendet werden, um außergewöhnlich flache Oberflächen für die mikroskopische Bildgebung und Strukturierung zu schaffen. Das System ist eine automatisierte XYZ-Stufe mit der Fähigkeit, mehrere Operationen an einem einzelnen Exemplar durchzuführen. Es kann auch Tandemfräsen durchführen, wodurch mehrere Ionenstrahl-Ätzwege auf verschiedenen Arten von Materialien ermöglicht werden. Das Gerät verfügt über eine hochpräzise Optik und Piezo-Transporttechnik, die eine präzise Steuerung der Strahlfokussierung und der Probenbewegung ermöglicht. Die fortschrittliche Software ermöglicht auch eine automatisierte Optimierung der Ionenstrahlparameter und eine Feinsteuerung der Strahlneigung zur Probe hin. Die Maschine verfügt über eine fortschrittliche Vakuumumgebung, die wiederholbare, saubere Fräsergebnisse gewährleistet. Seine intelligente Vakuumsteuerung hält den Bearbeitungsprozess sauber und reduziert die Wiederablagerung von Material auf der Probe. Der Basisdruck des Werkzeugs erreicht einen niedrigen 1 × 10-8Torr Bereich. Das Asset bietet eine sehr hohe Steuerung, so dass Benutzer die Strahlenergie, den Strahlstrom, die Abtastgeschwindigkeit, den Strahlwinkel und die Abtasthöhe fein anpassen können. Dies bietet ein präzises Werkzeug mit außergewöhnlicher Wiederholbarkeit und ermöglicht eine komplizierte und empfindliche Materialbearbeitung mit minimalen Materialschäden. MICRION 2500 ist ein leistungsstarkes und vielseitiges Ionenfräsmodell, das empfindliche und schwer zu bearbeitende Materialien mit großer Genauigkeit und Präzision verarbeiten kann. Die einstellbaren Scanparameter, gepaart mit einer leistungsstarken Ionenquelle und einer automatisierten Vakuumsteuerung machen es zu einem zuverlässigen Werkzeug für die nanoskalige Materialbearbeitung.
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