Gebraucht FEI / MICRION 2500 #9294116 zu verkaufen

FEI/MICRION 2500 ist eine Ionenfräsanlage, die durch Sputtern von Material mit einem Argonstrahl oder anderen inerten Ionen arbeitet, um Merkmale auf einer Probenoberfläche zu erzeugen. Das System verfügt über eine Zweisäulenkonstruktion, die eine Vielseitigkeit in Bezug auf verfügbare Kammerkonfigurationen und zusätzliche Optionen wie Probenheizung, Gaseinlaß/-auslaß, zusätzliche Probenstufen und andere Steuerungen für den größten Anwendungsbereich ermöglicht. Das Werkzeug verfügt auch über eine Ätzkammer mit anpassbaren Geometrien einschließlich großer einheitlicher Flächen für große Proben oder kleine Bereiche mit hohen Seitenverhältnissen und linearen Profilen. FEI 2500 verfügt über eine integrierte leistungsstarke Dual-Port-Hochfrequenz (RF) -Ionenquelle sowie eine Hochleistungs-Direkt- oder DC-Offset-RF-Ionenquelle, beide mit aktiver Abschirmtechnologie. Diese Einheit eliminiert die Sekundärelektronenemission und sorgt für eine präzisere Steuerung des Strahlstroms. Die Maschine bietet auch eine Reihe von Optionen für variable Stromregelung, Strahllenkung, Fokuseinstellung und Steuerung des Strahlradius. Das Hochvakuum-Doppelkammerdesign von MICRION 2500 nutzt ein Load-Lock-Tool mit Überwachungsfunktionen für zuverlässigen Langzeitbetrieb und High-End-Asset-Stabilität. Das Werkzeug verfügt auch über eine Reihe von magnetbasierten Containment-Systemen, um den Ladungsaufbau zu reduzieren und die Kontamination der Proben zu reduzieren. 2500 ist mit Präzisionssteuerungsoptionen ausgestattet, einschließlich aktiver Strahllenkung, Ausrichtung und Fokus für optimale Leistung und erhöhte Sputterfrequenz. FEI/MICRION 2500 beinhaltet ein umfassendes Prozessautomatisierungsmodell zum Betrieb der Mikrowellenquelle sowie programmierbare Ätzrezepturerstellung. Dies kombiniert mit der grafischen Benutzeroberfläche und integriertem Netzwerk ermöglichen eine benutzerfreundliche Bedienung für jede Benutzerebene. FEI 2500 produziert Funktionsgrößen bis zu 5 nm, was es zu einem leistungsstarken Werkzeug mit einer breiten Palette von Anwendungen macht, wie zum Beispiel für die Dünnschichtabscheidung, das „Trocknen“ niedriger dielektrischer Materialien und die Schaffung hoher Seitenverhältnismerkmale in Halbleitermaterialien. All diese Vorteile kombinieren zu machen MICRION 2500 ein wesentlicher Bestandteil jedes Labors, das Präzision in seiner Arbeit erfordert.