Gebraucht FEI / MICRION 9500 EX #293641374 zu verkaufen

Hersteller
FEI / MICRION
Modell
9500 EX
ID: 293641374
Focused Ion Beam (FIB) system Stage type: 200 mm x 200 mm Loadlock type IBM RISC System, 6000 43P 140 Computer/AIX 4.1.5 MCP Detector I-Gun column type: 5 nm Beam current: 3 pA - 931 pA (50 kV) Depo system: Tungsten TMCTS Gases: O2, H2O, Cl2/Br2, XeF2 Vacuum pump: Turbo molecular pump (2) Mechanical pumps (2) Ion getter pumps.
FEI/MICRION 9500 EX ist eine fortschrittliche Ionenmahlausrüstung für die Probenvorbereitung. Es ist spezialisiert auf hochpräzise Oberflächenplanarisierung für eine Vielzahl von Substratmaterialien. Es eignet sich gut für Prozessanwendungen wie Sputtern, Sputterätzen, erweitertes Ionenfräsen und andere Materialentfernungstechniken. FEI 9500 EX verwendet ein digitales computergesteuertes sechsachsiges linearmotorisches Antriebssystem, das motorisierte Stufen und variable AC/DC-Ionenquellen ermöglicht. Die Dual Source AC/DC-Einheit wird verwendet, um zuverlässige Ionenstrahlen zu erzeugen, die für Ionenfräsen-Anwendungen optimiert sind. Diese Maschine verfügt außerdem über einen energieeffizienten Betrieb und ein fortschrittliches Ionenquellendesign, das einen adaptiven Strahlfluss und einen nominalen Ionenquellfadenbetrieb bietet. MICRION 9500 EX umfasst eine 24-Positions-Sampler-Kassette, ein digitales Winkelgoniometer, eine Hochgeschwindigkeitsschalung und eine Probendrehstufe. 9500 EX ist mit einem hochauflösenden optischen Anzeigewerkzeug ausgestattet, das eine Echtzeitansicht des Ionenfräsprozesses liefert. Diese Anlage ist in der Lage, die Substratoberfläche auf gleichmäßige Planarisierung, Kornausrichtung und Partikelakkumulation zu überwachen. FEI/MICRION 9500 EX verfügt zudem über ein hochauflösendes Dosissteuerungsmodell und eine breite Palette anpassbarer Scanparameter für bestimmte Prozesse. Die Software- und Hardwarekomponenten bieten einen umfassenden Ansatz zur Steuerung von Ionenfräsprozessen und zur Optimierung der Leistung unterschiedlichster Materialabtragstechniken. FEI 9500 EX wurde entwickelt, um eine schnelle, hochgenaue Probenplanarisierung bereitzustellen und eine Reihe von automatisierten und praktischen Bedienungsfunktionen zu enthalten. Es ist auch kompatibel mit einer Vielzahl von Gerätezubehör wie einem integrierten Kühlsystem, Fernüberwachungsfähigkeit, einer Arbeitsflusseinheit und einer benutzerfreundlichen Schnittstelle. Darüber hinaus bietet MICRION 9500 EX eine Reihe fortschrittlicher analytischer Fähigkeiten wie SIMS-Analyse, elementare Zusammensetzungsanalyse und Röntgenbeugungsanalyse. 9500 EX ist eines der fortschrittlichsten Ionenfrässysteme auf dem Markt. Es ist ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug zur Erstellung von hochdetaillierten Oberflächen auf einer Vielzahl von Substratmaterialien und bietet ein umfassendes Spektrum an Funktionen zur Optimierung von Oberflächenaufbereitungsprozessen.
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