Gebraucht FEI / MICRION 9500 EX #9150796 zu verkaufen
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ID: 9150796
Focused Ion Beam (FIB) system
I-Gun type: 5nm Column
Beam current: 3pA~931pA (50kV)
Depo system:
Tungsten
Tmcts
O2
H2O
Cl2 / Br2
XeF2
Vacuum types:
Turbomolecular pump
(2) Mechanical pumps
(2) Ion getter pumps
Stage type: 200 x 200 mm
Loadlock type: Loadlock system
PS / OS: IBM RISC System / 6000 43P Model 140 computer / AIX 4.1.5
Detector: MCP.
FEI/MICRION 9500 EX Ionenfräsen ist eine fortschrittliche Ionenfräse für die Herstellung von nanoskaligen Strukturen und Komponenten. Es ist in der Lage, komplizierte Oberflächenstrukturen mit Hochstrahlströmen niedriger Energie und hoher Ionenbeschleunigung zu erzeugen. Es verwendet Galliumionenstrahlen, um die Oberfläche einer breiten Palette von Materialien, einschließlich Metallen, Keramiken und Halbleitern, fein zu fräsen. Das Gerät bietet auch die Möglichkeit, 3D-Nanostrukturen mit engen Toleranzen zu produzieren. Das EX-Ionenfrässystem FEI 9500 verwendet einen fokussierten Scan-Ionenstrahl, mit dem Oberflächen mit kleinen Eigenschaften und hoher Präzision hergestellt werden können. Das Gerät ist mit einer hohen benutzerfreundlichen Oberfläche automatisiert, die es Anwendern ermöglicht, Parameter nach Bedarf einfach anzupassen. Es ist auch mit einer XPS-Analysemaschine ausgestattet, um den Fräsfortschritt zu überwachen, sodass Benutzer Oberflächen überprüfen und die Frässchritte schnell für die gewünschten Ergebnisse anpassen können. Im Ionenmahlverfahren bietet MICRION 9500 EX eine breite Palette von Ionen, darunter Gallium (Ga +), Neon (Ne +), Xenon (Xe +), Helium (He +), Aluminium (Al +), Bor (B +) und Titan (Ti +). Der Ionenfräsprozess ist präzise und ermöglicht eine präzise seitliche Steuerung des Ionenstrahls über der Probenoberfläche. Darüber hinaus bietet dieses Tool eine breite Palette von Betriebsparametern wie Beschleunigungsspannung, Strahlströme, Auflösungen, Strahlfleckprofil, Strahl über Abtastbereich, Abtastgeschwindigkeit, Verweilzeiten und Probentemperatur. 9500 EX ist mit einem leistungsstarken Computer-Asset und einer Vielzahl von Software-Tools ausgestattet, mit denen Benutzer kundenspezifische Prozesse programmieren können. Dieses Modell verfügt über einen integrierten permanenten Speicher, in dem alle Parameter und Einstellungen gespeichert sind, die für jeden Auftrag verwendet werden, so dass jeder Fräsvorgang neu erstellt werden kann. Darüber hinaus hilft eine intuitive grafische Benutzeroberfläche Benutzern, den Fräsfortschritt zu verfolgen und bietet Analyse- und Berichtstools zur Überwachung und Analyse der Fräsergebnisse. Insgesamt bietet FEI/MICRION 9500 EX eine leistungsstarke und präzise Ionenfräse mit einem hervorragenden Automatisierungsgrad und einer benutzerfreundlichen Oberfläche. Es ist die perfekte Wahl für das Fräsen von Nanostrukturen und Komponenten, da es einen genauen und wiederholbaren Fräsprozess bietet. Dank seiner ausgezeichneten Fräsparameter, der großen Auswahl an Ionentypen und der automatisierten Schnittstelle ist dieses System eine ausgezeichnete Entscheidung für diejenigen, die nach fortschrittlichen Ionenfräsen suchen.
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