Gebraucht FEI / MICRION DB865 #9292680 zu verkaufen

FEI/MICRION DB865 ist eine hochauflösende Ionenfräsausrüstung, die zum präzisen Ätzen kleiner Merkmale auf einer breiten Palette von Materialien entwickelt wurde. Diese Art von System ist ideal für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen in der Elektronik und Halbleiterherstellung und wurde für eine Vielzahl von Anwendungen wie medizinische Implantate, MEMS-Geräte und andere hochsensible Oberflächen eingesetzt. Zu den Hauptkomponenten der FEI- DB865 gehören ein vollautomatischer Manipulator, eine Gleichstromversorgung, eine stickstoffgekühlte Ionenpistole und eine Vakuumgehäusekammer. Der Manipulator der Maschine dient zur Steuerung der Probe in X-, Y-, Z- und Winkelrichtung. Die Gleichstromversorgung und die stickstoffgekühlte Ionenpistole werden zur Erzeugung des Ionenstrahls verwendet, um die Oberfläche der Probe zu ätzen. Die Ionenpistole ist mit einer elektrostatischen Fokussierlinse zur Ausrichtung des Ionenstrahls auf einen lokalisierten Bereich der Probe ausgestattet. Die Vakuumgehäusekammer hält das für das Ätzen erforderliche Vakuum aufrecht und sorgt für Hochtemperaturheizung/-kühlung sowie UHV-Bedingungen (Ultra-High-Vakuum) für das Ätzen empfindlicher Geräte. MICRION DB865 Werkzeug ist in der Lage, Strahlbiegung und Oberflächenabtastung, die es ermöglicht, relativ große Flächen einer Probe auf einmal zu fräsen. Die Genauigkeit der Ätzung wird durch die Größe des Brennpunktes der Ionenpistole bestimmt, die zwischen 10 und 500 nm liegen kann. Die maximale vom Manipulator akzeptierte Probengröße beträgt 180 mm x 90 mm und die begrenzte Stromversorgung ermöglicht einen Ätzstrom von bis zu 1,5 mA. Darüber hinaus kann das Gut bei unterschiedlichen Gasdrücken für unterschiedliche Ätzanwendungen sowie für das Ätzen durch Oxidentfernung und Ätzen durch Legierungsentfernung eingesetzt werden. DB865 Modell ist mit einem Offline-Steuerungssoftware-Paket ausgestattet, das es dem Benutzer ermöglicht, die Ätzparameter grafisch einzurichten sowie die Geräte während des Prozessbetriebs zu überwachen und zu steuern. Zusätzlich kann die Fernüberwachungsfunktion verwendet werden, um den Betriebszustand des Systems zu überwachen, wenn das Gerät verwendet wird. Insgesamt ist FEI/MICRION DB865 eine vielseitige und robuste Ionenfräsmaschine, die sich ideal zum präzisen Ätzen kleiner Oberflächen auf verschiedenen Materialien eignet. Mit seiner hohen Präzision und seinem breiten Spektrum an Ätzfähigkeiten ist FEI DB865 Tool ein unschätzbares Werkzeug für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen in der Elektronik- und Halbleiterindustrie.