Gebraucht FEI / MICRION Vectra 986 #9145596 zu verkaufen

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ID: 9145596
Weinlese: 2010
Particle beam system I-Gun type: 5nm Column Beam current: 3pA~931pA (50kV) Depo system: Tungsten Tmcts O2 H2O Cl2 / Br2 XeF2 Vacuum types: Turbomolecular pump (2) Mechanical pumps (2) Ion getter pumps Stage type: OBIC Laser Loadlock type: Loadlock system PS / OS: IBM RISC System / 6000 43P Model 150 computer / AIX 4.3.3 Detector: MCP 2010 vintage.
FEI/MICRION Vectra 986 ist eine Ionenmahlanlage, die in der Mikroskopie zum Verdünnen von Proben wie Metallen, Halbleitern und Keramiken weit verbreitet ist. Das System besteht aus einer Kammer, zwei Ionenquellen, einem Drehspeiser und einer Präzisionsstufe und bietet eine effektive und ausgezeichnete Substratätzrate. Es verfügt über eine hocheffiziente Quelle und Fähigkeiten zur Steuerung der Sputterrate, die dazu beiträgt, Zeit und Kosten pro Probe zu minimieren. FEI Vectra 986 ist in der Lage, sehr gleichmäßige Oberflächenstruktur zu produzieren, was zu überlegener Oberflächenqualität führt. Es bietet auch Prozesse wie Rückseitenfräsen, Beschichten und In-situ-Reinigung und andere Optionen wie eingebetteter Kontrast zur Verbesserung der Bilddetails und -treue. Mit dem Ionenmahlverfahren wird das Probensubstrat mit energetischen Ionen beschossen, die jeweils ein Atom der Oberflächenschicht wegstreifen. Dieser Prozess lässt sich mit dem einstellbaren Bereich der Energiebeschleunigungen leicht steuern, so dass der Benutzer die Tiefe des potentiellen Probenätzes genau einstellen kann. Dieses Verfahren ist für die Substratätzung hochwirksam, da es Ebenen mit sanft abfallenden Kanten erzeugt, die großflächige Entfernung mit minimaler Verzerrung ermöglicht und eine feste Winkelionenbeleuchtung der Probenoberfläche ermöglicht. MICRION Vectra 986 ist aufgrund seiner Steuerungs- und Fehlererkennungssoftware ein äußerst zuverlässiges Gerät. Es verwendet verschiedene Algorithmen und Mapping-Tools, um Innen- und Außenfehler sowie charakteristische Merkmale zu erkennen. Darüber hinaus ist das Gerät aufgrund der Tatsache, dass es für den Niederspannungsbetrieb ausgelegt ist, äußerst präzise Abtastungen möglich, so dass es ohne die Gefahr eines Lichtbogendurchbruchs oder eines versehentlichen Probenschadens arbeitet. Vectra 986 ist eine rundum ausgezeichnete Fräsmaschine, die verbesserte Materialabtragsraten, hochgenaue Oberflächen und erhöhte Produktausbeute bietet. Mit seinen zahlreichen automatisierten Steuerungen und der Möglichkeit der In-situ-Bildgebung kann es in vielen Prozessschritten für Forschung, Entwicklung und Fertigung eingesetzt werden.
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