Gebraucht FEI / MICRION Vectra 986FC #293718112 zu verkaufen
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ID: 293718112
Wafergröße: 8"
Focused Ion Beam (FIB) system, 8"
Upgraded to IET / WDR System
Circuit editor: 28 nm
Ion mill column
Acceleration: 50 keV
Ion column resolution: 5 nm
Bipolar power supply
Laser interferometer stage, 8"
Proprietary charge neutralization system
Virtual apertures: (14) Beam currents
Pre-soak chamber
Wafer holder, 8"
Current monitor sample holder
Tungsten metal deposition
Hard Disk Drive (HDD), 500 G
RAM Memory, 3400 Megabyte
Gases :
Chlorine / Bromine
Xenon difluoride
Siloxane (TMCTS)
Oxygen
Tungsten
Display:
Colour monitor, 21"
Line resolution (1280 x 1024)
Virtual apertures: (14) Beam currents
Gas delivery system:
Metal (Cl2)
Dielectric (XeF2)
(2) GAE Stations
Penta / Tri nozzle configuration
Dielectric deposition:
Tetra Methyl Cyclote Trasil Oxane (TMCTS)
Oxygen
No IR cameras.
FEI/MICRION Vectra 986FC ist eine hochleistungsfähige fokussierte Ionenstrahlfräsanlage (FIB), die für moderne Anwendungen in der Halbleiterherstellung und der Materialforschung entwickelt wurde. Dieses hochmoderne Instrument integriert Ionenstrahlfräsfähigkeiten mit hochgenauen Bildgebungs- und Analysefunktionen, um eine präzise Herstellung und Charakterisierung von nanoskaligen Strukturen zu ermöglichen. Das Herzstück von FEI Vectra 986FC ist seine fokussierte Ionenstrahlsäule, die einen fein fokussierten Strahl von Galliumionen für Fräs- und Bildgebungszwecke erzeugt. Das System ist in der Lage, Ionenstrahlen mit Sub-Nanometer-Auflösung zu produzieren, so dass es ideal für Aufgaben ist, die eine extrem hohe Präzision erfordern, wie Schaltungsbearbeitung, Fehleranalyse und Querschnitt von Proben. MICRION Vectra 986FC verfügt über eine vielseitige Bühneneinheit, die eine mehrachsige Probenmanipulation und -positionierung ermöglicht und es Anwendern ermöglicht, spezifische Interessensgebiete auf einer Probenoberfläche für die Verarbeitung genau anzupassen. Diese Stufenmaschine unterstützt auch die Überwachung und Steuerung von Fräsprozessen vor Ort und sorgt für Echtzeit-Feedback und Anpassung für optimale Ergebnisse. Zusätzlich zu seinen Ionenfräsfunktionen verfügt Vectra 986FC über erweiterte Bildgebungs- und Analysefunktionen, die seinen Nutzen für verschiedene Anwendungen verbessern. Das Tool verfügt über hochauflösende Rasterelektronenmikroskopie (SEM) und SIMS-Bildmodi (Secondary Ion Mass Spectrometry), die eine detaillierte Visualisierung der Probenoberflächen und eine kompositorische Analyse auf nanoskaliger Ebene ermöglichen. Darüber hinaus bietet FEI/MICRION Vectra 986FC automatisierte Bildgebungs- und Datenerfassungsfunktionen, die Arbeitsabläufe optimieren und die Produktivität für die Anwender steigern. Die intuitive Benutzeroberfläche und die Software-Steuerelemente des Asset ermöglichen eine einfache Programmierung komplexer Fräs- und Bildaufgaben und sind sowohl für erfahrene Forscher als auch für Neueinsteiger zugänglich. Eine der Hauptstärken von FEI Vectra 986FC ist seine Vielseitigkeit im Umgang mit einer Vielzahl von Mustertypen und -größen. Ob mit Halbleiterscheiben, biologischen Proben oder materialwissenschaftlichen Proben, das Modell ist für die Aufnahme verschiedener Probengeometrien und Oberflächenbedingungen ausgestattet und gewährleistet konsistente und zuverlässige Ergebnisse für verschiedene Anwendungen. Darüber hinaus ist MICRION Vectra 986FC für die Verarbeitung mit hohem Durchsatz konzipiert und ermöglicht schnelle Durchlaufzeiten für die Probenvorbereitung und -analyse. Sein fortschrittliches Kammerdesign minimiert Kontaminationen und Probendrift und sorgt für konsistente und reproduzierbare Ergebnisse auch während längerer Betriebszeiten. Insgesamt stellt Vectra 986FC eine hochmoderne Ionenfräsanlage dar, die modernste Technologie mit benutzerfreundlichem Design kombiniert, um eine unübertroffene Leistung und Zuverlässigkeit bei der Herstellung und Charakterisierung nanoskaliger Strukturen zu bieten. Mit seinen fortschrittlichen Fähigkeiten und seiner vielseitigen Funktionalität ist FEI/MICRION Vectra 986FC ein wertvolles Werkzeug für Forscher und Hersteller, die die Grenzen der Nanotechnologie und Materialwissenschaft erweitern wollen.
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