Gebraucht FEI / MICRION Vectra Vision #9200449 zu verkaufen
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ID: 9200449
Particle beam system
I-Gun type: 5nm Column
Beam current: 3pA~931pA (50kV)
Depo system:
Tungsten
Tmcts
O2
H2O
Cl2 / Br2
XeF2
Vacuum type:
Turbomolecular pump
(2) Mechanical pumps
(2) Ion getter pumps
Stage type:
OBIC Laser: 200mm x 200mm
Loadlock type: Loadlock system
PS / OS: IBM RISC System / 6000 43P Model 150 computer / AIX 4.3
Detector: MCP.
FEI/MICRION Vectra Vision ist eine Ionenfräsanlage, die zum Fräsen verschiedener Materialien für großflächige nanoschleifende Bearbeitungsprozesse entwickelt wurde. Es kombiniert hochpräzises Fräsen, fortschrittliche Automatisierung und eine intelligente Prozesssteuerung, um den Durchsatz und die Leistung zu maximieren. FEI Vectra Vision bietet eine Reihe von Funktionen zur Steigerung der Produktivität und Genauigkeit. Die Hauptkomponenten von MICRION Vectra Vision sind ein Satz magnetisch hängender, programmierbarer Fräsköpfe, ein Maskenlader im Pinzettenstil, eine bewegungsgesteuerte Drehteller und eine integrierte Plasmaquelle. Die hochpräzisen Fräsköpfe sind in der Lage, eine Vielzahl von Materialien wie Metalle, Polymere, amorphe Materialien und Halbleiter zu handhaben. Die integrierte Plasmaquelle ermöglicht das Ionenfräsen, ohne dass eine Flüssigkeitsvorkonditionierung erforderlich ist. Die bewegungsgesteuerte Drehscheibe bietet eine Oberflächenregistriergenauigkeit von +/-2,2 µm und Drehzahlen von bis zu 16.500 U/min. Schließlich ist der Maskenlader im Pinzettenstil so konzipiert, dass er Masken und Substrate schnell und präzise in und aus den Mühlenkammern überträgt. Vectra Vision ist auch mit leistungsstarken Automatisierungs-, Steuerungs- und Softwarefunktionen ausgestattet. Die TrueView Software Suite des Systems wurde entwickelt, um den gesamten Prozess von der Substratbeladung und -positionierung bis zur Bereichsauswahl und -fräsung zu überwachen und ist optimiert, um die Produktivität und Genauigkeit zu maximieren. Darüber hinaus sorgen die modulare Architektur von FEI/MICRION Vectra Vision und der integrierte kundenspezifische Controller für zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse über mehrere Fräszyklen hinweg. Die Modularität des Geräts ermöglicht auch eine einfache Erweiterung von grundlegenden auf fortgeschrittene Funktionen. Schließlich ist FEI Vectra Vision mit den neuesten Sicherheitsfunktionen für den Benutzerschutz ausgestattet. Fortschrittliche Laser- und Kollimator-Sensortechnologien bieten Echtzeit-Feedback, um sicherzustellen, dass kein Personal gefährlichen Arbeitsbedingungen ausgesetzt ist. Darüber hinaus entspricht die Maschine allen geltenden Sicherheitsvorschriften, einschließlich OSHA- und ANSI-Standards. Abschließend ist MICRION Vectra Vision ein fortschrittliches Ionenfräswerkzeug, das für großflächige nanoschleifende Bearbeitungsprozesse entwickelt wurde. Es kombiniert hochpräzises Fräsen, fortschrittliche Automatisierung und eine intelligente Prozesssteuerung, um den Durchsatz und die Leistung zu maximieren. Darüber hinaus ist die Anlage mit leistungsstarken Sicherheitsfunktionen für den Benutzerschutz ausgestattet.
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