Gebraucht FEI / MICRION Vertra vision #9145593 zu verkaufen
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ID: 9145593
Particle beam system
I-Gun type: 5nm column next gen
Beam current: 3pA~931pA (50KV)
Depo system:
Tungsten
Tmcts
O2
H2O
Cl2 (or Br2)
XeF2
Vacuum type:
Turbo molecular pump
(2) Mechanical pumps
(2) Ion getter pumps
Stage type: OBIC Laser 200 x 200 mm
Loadlock type: Loadlock system
PS / OS:
IBM RISC System
6000 43P Model 150 computer
AIX 4.3
Detector: MCP
Others: FIB Assist(Version 0.9).
FEI/MICRION-Vision ist eine Mehrzweck-Ionenfräsanlage, die für Anwender aller Ebenen entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um maximale Flexibilität für Oberflächenvorbereitung, Scheibenvorbereitung, Fräsdicke und Trogätzanwendungen zu bieten. Das System ermöglicht es dem Anwender, hochpräzise, zuverlässige und reproduzierbare Ergebnisse zu erzielen. Die FEI-Vision-Einheit besteht aus einer Reihe von Gasmeß- und Ionisationszellen, die mit einer Vakuumkammer, einer Ionenquelle und einer Strahllinie verbunden sind. Die Maschine ermöglicht eine präzise, gestaffelte Substratmanipulation mit einer Vielzahl von Ionenstrahlintensitäten. Außerdem bietet die Beam-Lenkfunktion dem Anwender die Möglichkeit, die Fräsprozessparameter fein abzustimmen. Zu den Merkmalen der MICRION-Vision gehören eine präzise Strahlfokussierung, ein niedriger kV-Betrieb mit sehr hohen Stromwerten und die Möglichkeit, die Strahlrichtung sowie die Fräsgeschwindigkeit und den Durchsatz zu steuern. Es sind auch Hochdruckgassensoren, Mikroabtastmöglichkeiten, Membranventil zur Feinabstimmung des Prozesses und verschmutzungsbeständige Fenster vorhanden. Zusätzlich bietet das Werkzeug einen leeren Tisch, eine Bewegungssteuerung, eine Bildschirmanzeige der Scanparameter und einen externen Strahlverschluss für mehr Sicherheit. Die Vision bietet ausgezeichnete Fräsparameter und Gleichmäßigkeit. Es ist ideal für Dünnschichtabscheidung, Halbleiterprozessanwendungen, Abscheidung von Nanopartikeln und Durchätzanwendungen. Die hohe Temperatur- und Druckfähigkeit der Anlage ist auch ideal für hochpräzises Durchätzen, und es ist in der Lage, Ionenstrahlverdünnung und Ionenstrahl-angetriebene Ätzdicke zu optimieren. Es hat sich sogar gezeigt, die Herstellung von Mehrschichtstrukturen zu erleichtern. Insgesamt ist die FEI/MICRION-Vision eine fortschrittliche, vielseitige Ionenfräslösung, die sich ideal für verschiedene Industrie- und Forschungsanwendungen eignet. Es bietet eine hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit, so dass der Anwender seinen Fräsprozess genau steuern und reproduzierbare Ergebnisse erzielen kann. Die erweiterten Merkmale und Funktionen des Modells machen es zu einer großen Wahl für anspruchsvolle Fertigungs- und Prozessanforderungen.
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