Gebraucht FISCHIONE INSTRUMENTS 1020 #293750061 zu verkaufen
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ID: 293750061
Plasma cleaner
High frequency: 13.56 Hz
Electron microscopes:
PHILIPS / FEI Electron optics
HITACHI HIGH TECHNOLOGIES
JEOL
CARL ZEISS
LEO / ZEISS
TOPCON
Vacuum:
Turbomolecular drag pump
Multistage diaphragan pump
Ultimate vacuum: 1 x 10-7 mbar
Gas:
Oxygen 25%
Argon: 75%
Power supply: 100/120/220/240 V AC, 50/60 Hz, 660 W.
FISCHIONE INSTRUMENTS 1020 ist ein fortschrittliches Ätz-/Aschegerät. Entwickelt, um das Plasmaätzen sowie andere Ätz- und Ascheprozesse zu erleichtern, bietet 1020 eine Reihe von Funktionen, die den Prozess schnell, effizient und zuverlässig machen. FISCHIONE INSTRUMENTS 1020 ist eine integrierte Ausrüstung, die Ätz-/Aschekammer, Plasmaquelle und HF-Stromgenerator in einem einheitlichen Design kombiniert. Dies ermöglicht einen vollautomatischen Ätz-/Aschevorgang mit präziser Steuerung und Überwachung. Das System ist in der Lage, die Prozesswiederholbarkeit schnell zu erreichen und eine ausreichende Einheitlichkeit für Forschungs- und Produktionsanwendungen zu gewährleisten. Die Ätz-/Aschekammer von 1020 ist mit einem Doppelfenster zur Aufnahme von positiven und negativen Aschevorgängen ausgebildet. Das erste Fenster kann für positive Ätz-/Ascheprozesse verwendet werden, während das zweite Fenster die Durchführung negativer Ätzprozesse ermöglicht. Der Prozess kann durch einen Fensterblick überwacht werden und bietet eine visuelle Inspektion des Produkts während Experimenten. FISCHIONE INSTRUMENTS 1020 enthält eine keramische Drosselklappe für eine präzise Gasfördersteuerung, die einstellbare Druckbereiche bietet. Das Gerät arbeitet mit einem einstellbaren Gasdurchsatz zwischen 1,0 und 20 sccm und verfügt über einen digitalen Gasdurchsatzmesser zur kontinuierlichen Durchflussregulierung. 1020 bietet eine breite Palette von Optionen für Plasmaquellen, einschließlich HF, DC, Pulsed DC (HFXE) und Pulsed Magnetron Sources (HFE). Der HF-Stromgenerator ist in der Lage, 20kW der Ausgangsleistung zur Verfügung zu stellen, die volle Leistung und Prozesssteuerung ermöglicht. Darüber hinaus umfasst FISCHIONE INSTRUMENTS 1020 Diagnose- und Geräteschutzfunktionen, um sicherzustellen, dass die Maschine während Experimenten sicher und betriebsbereit bleibt. 1020 eignet sich für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen und kann in größere Fertigungswerkzeugkonstruktionen integriert werden. Es bietet zuverlässige Produktivität, Einheitlichkeit und Konsistenz, was es für eine breite Palette von Industrie- und Forschungsprojekten geeignet macht. Diese Vorrichtung bietet eine Komplettlösung für Plasmaätz- und Ascheprozesse und sorgt für zuverlässige und präzise Ergebnisse.
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