Gebraucht GATAN 600 TMP #9284031 zu verkaufen

GATAN 600 TMP ist eine Ionenmahlanlage zur Mikrofabrikation von Halbleitermaterialien und anderen empfindlichen Substraten. Es wurde speziell entwickelt, um eine hohe Präzision und Genauigkeit für manuelle, semiautomatische und vollautomatische Prozesse zu bieten. Das System besteht aus mehreren Komponenten, darunter einem drehbaren Quellrahmen, einem Schrägwinkel-Ionenfänger, einer oder zwei Hauptmusterstufen, einem Sammelkegel, einem Post-Ionen-Filter und einem vierachsigen Regler zur Präzisionssteuerung der Strahlen. Die Einheit weist einen drehbaren Quellrahmen und zwei unterschiedlich gepumpte Ionenquellen auf. Diese Komponenten sind für die Erzeugung fokussierter Ionenströme bei hohen Energien verantwortlich, um empfindliche Materialien wie Silizium und Galliumarsenid zu ätzen. Die Kombination dieser beiden Quellen kann so eingestellt werden, daß eine gleichmäßige Ionenbeschießung über die gesamte Fläche der Probenstufe erfolgt. Der Schrägwinkel-Ionenfänger ist am Quellrahmen befestigt und soll dem Anwender eine größere Flexibilität bei der Auswahl von Fräswinkeln und -tiefen bieten. Die wichtigsten Probenstufen können mit bis zu zwei Waferhaltern verwendet werden. Die Waferhalter werden durch eine spezielle Vakuumspannmaschine gehalten, die Probenschäden durch Vibrationen oder Bewegungen wirksam verhindert. Der Sammelkegel soll sicherstellen, dass die von der Probenphase kommenden Ionen den Rest des Werkzeugs nicht beeinflussen. Es befindet sich direkt in der Mitte der Ionenquelle und ist speziell dafür ausgelegt, den Divergenzwinkel des Ionenstrahls zu reduzieren. Der Post-Ion-Filter ist ein wichtiger Bestandteil von 600 TMP Asset. Es ist verantwortlich für die Entfernung unerwünschter Partikel oder Moleküle wie Staub, Schmutz oder kohlenstoffhaltige Moleküle, die die Proben verunreinigen könnten. Der Filter kann auf einen bestimmten Druck und Durchfluss eingestellt werden, der die Eindämmung von Partikeln verhindert. Schließlich wird der Vier-Achsen-Controller verwendet, um dem Benutzer die vollständige Steuerung der Balken zu ermöglichen, einschließlich der Größe, Form und des Winkels der Balken. Diese Steuerung ermöglicht eine höhere Präzision beim Ätzen von Materialien. Insgesamt ist GATAN 600 TMP ein hochentwickeltes Modell, das für die genaue und präzise Mikrofabrikation empfindlicher Substrate entwickelt wurde. Es besteht aus mehreren Komponenten, die zusammenarbeiten, um es dem Benutzer zu ermöglichen, die präzisesten Produkte zu erstellen und gleichzeitig eine saubere und sichere Umgebung während des gesamten Prozesses zu erhalten.