Gebraucht GATAN 645 #70882 zu verkaufen

GATAN 645 ist eine Ionenfräsanlage mit hochauflösenden Polierfunktionen. Dieses System besteht aus vier einzelnen Modulen. Die Komponenten von 645 umfassen eine Lastschließkammer, eine dichtende Vakuumkammer, eine Ionenstrahlsäule, eine Euzenterstufe, eine Vakuumeinheit und eine Ionenstrahlsteuerungsmaschine (IBC). Die Ladekammer besteht aus einem Aluminiumrahmen, der eine abnehmbare Frontplatte mit beidseitig einer schienengeführten Tür aufweist. Es ist zur Reduzierung von Druckänderungen ausgelegt und zudem mit nichtmagnetischen Dreh- und Schiebetürdichtungen ausgestattet, um Verunreinigungen aus der Vakuumkammer herauszuhalten. Zum Werkzeug GATAN 645 gehört auch eine dichte Vakuumkammer, die mit einer zentralen Öffnung ausgestattet ist. Die zentrale Öffnung ermöglicht den Zugang zur Probenkammer, die mit Argon bei einem niedrigen Druck von 1 mbar gefüllt ist. Die euzentrische Stufe ist auf der dichtenden Vakuumkammer montiert und dient zum Drehen und Kippen der Probe. Die Ionenstrahlsäule ist so ausgelegt, dass sie durch Steuerung der Parameter wie Strom und Energie einen gleichmäßigen Ionenstrahl erzeugt. Die Säule ist mit einer hochpräzisen X-Y-Stufe ausgestattet, mit der Strahlrichtung und Fokus gesteuert werden. Das bildgebende Gut befindet sich ebenfalls innerhalb der Vakuumkammer. Das IBC-Modell dient zur Steuerung des Ionenstrahls. Dieses Gerät umfasst einen HF-Generator und eine optische Zelle mit dichtem Plasmafokus (DPF) zur Steuerung der Strahlintensität, der Punktgröße und des Strahlstroms. Die Vakuumsystemkomponenten befinden sich in der zentralen Öffnung und an der Rückwand der Impfkammer. 645 Einheit eignet sich besonders zum Ausdünnen, was die Verwendung von Ionenstrahl zum Wegätzen dünner Materialschichten, wie Siliziumoxid oder anderen Dielektrika, zum Erzeugen von Mikrostrukturen beinhaltet. Es wird auch als Polierwerkzeug verwendet, um glatte Oberflächen auf Metallen, Glas und anderen Materialien zu produzieren. Der Ionenmahlprozess erzeugt eine gleichmäßige Oberfläche mit einer höheren Oberflächenenergie, die eine bessere Haftung dünner Filme ermöglicht. GATAN 645 Maschine hat eine breite Palette von Betriebsparametern, einschließlich Strahlstrom, Strahlenergie, Punktgröße und Einfallswinkel. Dieses Werkzeug bietet daher eine flexible Palette einstellbarer Parameter, wodurch Anwendungen wie Ausdünnen, Ätzen und Polieren mit hoher Präzision durchgeführt werden können.