Gebraucht GATAN 691 PIPS #9075091 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9075091
Precision ion polishing system
Ion source:
Ion guns: (2) Penning ion guns
Milling angle: +10i to -10i, (adjustable)
Ion beam energy: 1.5 keV to 6 keV
Beam diameter: 350 m FWHM at 5 keV to 800 m FWHM at 5 keV
For broad beam guns
Ion current density: 10mA/cm2 peak
Beam alignment: Precision beam alignment
Specimen stage:
Sample size: 3 mm or 2.3 mm
Mounting: Gatan patented DuoPost (standard) or Graphite holder (optional)
Rotation: Variable from 1 to 6 rpm
Beam modulation: Single or double sector for exceptional cross-sectioning
Viewing: Binocular microscope: 40x or 80x
Vacuum:
Dry pumping system: Molecular drag pump
Pressure:
Base pressure: 5E-6 torr
Operating pressure: 8E-5 torr
Vacuum gauge:
Penning type for main chamber
Solid-state for backing pump
Specimen airlock:
GATAN Whisperlok
Specimen exchange time: <30sec.
GATAN 691 PIPS ist eine Ionenfräse für den Einsatz in Nanofabrikationsanlagen. Ionenfräsen ist ein Verfahren, bei dem Material unter Verwendung eines Ionenstrahls von einer Probenoberfläche entfernt wird, typischerweise als Teil einer Schrittfolge zur Erzeugung von Merkmalen mit Auflösung auf Nanometerebene. Dieses spezielle System wurde von GATAN, Inc., einem führenden Hersteller von Elektronenmikroskopie, Bildgebung und Analysegeräten, entwickelt und hergestellt. 691 PIPS ist eine benutzerfreundliche Einheit, die für Anwendungen mit hohem Durchsatz und Batch-Verarbeitung geeignet ist. Es eignet sich gut für Mühlstufen mit vielen probenmontierten Geräten und ist in der Lage, eine Fünf-Säulen-Stufe von Proben in einer Bewegung oder einer einzigen Probe in einer Reihe von Schritten zu positionieren. Die Maschine verwendet einen automatisierten Controller, um bis zu acht Ionenstrahlpistolen gleichzeitig zu verwalten, was eine einfache Einstellung des Strahlstroms (Ionenfrässtrom kann zwischen 0 und 15 Milliampere liegen) und die Einstellung der Strahlwinkel ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht das Tool die Automatisierung von Probenbeladung, Entladung, Probenidentität und exakten Strahlmustern (zusammen mit spezifischen Parametern erforderlich). GATAN 691 PIPS bietet eine breite Palette von Vor-Ort-Inspektionen, die die Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bei Ionenfräsen weiter gewährleisten. In-situ-Inspektionen einschließlich visueller Inspektion (von Oberflächenmerkmalen oder deren Fehlen), optischer Mikroskopie (zur Überprüfung der Probenoberfläche vor und nach Mahlprozessen), Sekundärelektronenmikroskopie (SEM) und Rasterelektronenmikroskopie (SEM) zur weiteren Analyse. Die Anlage selbst umfasst eine robuste Vakuumkammer, eine optimierte Probenstabilität mit verbesserter Probenstabilität, einstellbare Schrittmotoren für den präzisen Standort der Probenstufe, XYZ-mechanischer Scanner, digitale Kammersteuerung, automatische Steuerung, automatisches Ausrichtungsmodell und eine Vielzahl von Ionenfräsen. Das Gerät ist mit einem optischen Anschluss zur Probenanalyse, einem Ionenkontaminationsüberwachungssystem und einer Gasfördereinheit für schnelleres Nitridätzen und Oberflächenreinigung ausgestattet. Eine Vielzahl von Sicherheits- und Prozesssteuerungsfunktionen sind verfügbar, darunter eine Vakuum-Alarmmaschine, Inertgas-Handling-Systeme und UV-Dekontamination. Darüber hinaus verfügt 691 PIPS über eine Diagnose, mit der mögliche Probleme behoben werden können. GATAN 691 PIPS gilt als ideale Wahl für Anwendungen in der Nanofabrikation und bietet überlegene Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Benutzerfreundlichkeit. Seine automatisierten Funktionen vereinfachen den Herstellungsprozess, und seine breite Palette von Vor-Ort-Inspektionen sorgen für Genauigkeit.
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