Gebraucht GATAN 691 #293752323 zu verkaufen
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GATAN 691 ist eine High-Tech-Ionenfräse, die eine präzise Oberflächenmodifizierung einer Vielzahl von Materialien durch ein Verfahren ermöglicht, das als Ionenfräsen bekannt ist. Dieses System nutzt die „trockene“ Präzisionsätztechnologie des Galliumionenfräsens, um eine außergewöhnliche Kontrolle über Materialoberflächen und dreidimensionale (3D) Merkmale zu ermöglichen. 691 Einheit ist entworfen, um Hochgeschwindigkeitsfräsen von Halbleiter- oder Isoliermaterialien einschließlich Silizium, Aluminium, Kohlenstoff, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid und Wolfram zu ermöglichen. Diese Maschine verfügt über eine Ultra-Low-Energy-Ionenquelle, die fokussierte Ionenstrahlen mit Energien im Bereich von 0,5 keV bis 10 keV liefern kann. Darüber hinaus kann GATAN 691 mit seiner leistungsstarken 20-W-Gallium-Ionenquelle sehr hochwertige Fräsergebnisse mit minimalen Kollateralschäden liefern und ist somit ideal für Materialien, bei denen hohe Treue besonders geschätzt wird. Darüber hinaus ermöglicht sein robustes Steuerwerkzeug präzise Winkel- und Abstandsänderungen bei der Bearbeitung, was es für die Erstellung von benutzerdefinierten Funktionen und hochpräzises Ätzen nützlich macht. 691 mehrere vorteilhafte Merkmale aufweist, einschließlich seiner hochauflösenden Bühnenbewegungen, die es zur Oberflächenmusterung mit Merkmalsgrößen bis zu 100 nm geeignet machen; seine optischen Systeme zur Betrachtung und Echtzeit-Oberflächenbewertung; und seine integrierte Lastsperre, die ein Vakuum aufrechterhält, um eine Nachbearbeitungsoxidation zu vermeiden. Es umfasst auch isolierte Sicherheitssysteme, die Personal und Ausrüstung sicher halten, sowie eine Ultra-Niederdruck-Widerstandsheizung und eine geschlossene Zoom-Objektivkonfiguration für die Bildgebung. Die benutzerfreundliche Schnittstelle von GATAN 691 verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) für die Einrichtung, Steuerung und Überwachung von Prozessrezepten, ein flexibles Modellautomatisierungsmodul mit IQ/OQ-Validierung und eine Fernzugriffsoption für mehr Betriebseffizienz. Es enthält auch ein umfassendes Echtzeit-Diagnosemodul, das es Benutzern ermöglicht, Probleme mit Geräten umgehend zu beheben und zu beheben. Zusätzlich zu diesen Merkmalen umfasst 691 ein Ionenstrahl-Analysesystem, das eine Reihe von energiefilterten bildgebenden und spektroskopischen Techniken unterstützt. Das Gerät verfügt außerdem über eine leistungsstarke Turbopumpenunterstützung und einen Fünf-Stationen-Palettenwechsler für erhöhte Durchsatz- und Verarbeitungssimulation. Schließlich kann GATAN 691 an eine Vielzahl von Anwendungen angepasst werden, von der Lithographie über die Proben- und Probenvorbereitung. Insgesamt ist 691 eine fortschrittliche Ionenfräsmaschine, die fertigungstechnische, oberflächenmodifizierte Prozesse mit beispielloser Geschwindigkeit und Steuerung ermöglicht. Mit seiner Kombination aus Low-Energy-Ionen-Technologie und kontrollierten Bühnenbewegungen bietet GATAN 691 ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug zur Herstellung von hochpräzisen Merkmalen und Oberflächen.
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