Gebraucht GATAN 691 #293757339 zu verkaufen

Hersteller
GATAN
Modell
691
ID: 293757339
Precision Ion Polishing System (PIPS), parts system.
GATAN 691 ist eine Ionenfräsanlage, mit der Material lokal von einer Oberfläche entfernt wird, ohne dass eine wesentliche topographische Änderung oder Beschädigung der darunter liegenden Oberflächen verursacht wird. Das System besteht aus einer Hochspannungsquelle, einer Vakuumkammer, einem Ionenfräswerkzeug und verschiedenen anderen Komponenten, die das Risiko einer Beschädigung des Substrats reduzieren sollen. Ionenfräsen ist ein Schleifprozess, bei dem Ionen beschleunigt werden, um die Materialoberfläche zu treffen, die Materialverdrängung und/oder Schichtablation verursacht. 691 Einheit hat eine relativ kleine Vakuumkammer, die etwa 16 Zoll im Durchmesser misst. Es wird um einen Edelstahlbalg gebaut und hat einen Betriebsdruck von bis zu 10-6 Torr. Die Maschine ist mit einer Hochspannungsquelle im Bereich von 1 bis 25kV und einer Stromversorgung von bis zu 20mA für die Ionenfräselektrode ausgestattet. Die Ionenfräse hat einstellbare Parameter, um die Winkelabweichung, Energie und Ladung der Ionen zu steuern. Das Werkzeug ist auch mit einem Verschluss zur Steuerung der Exposition der Materialoberfläche gegenüber Ionen ausgestattet. Die Winkelabweichung der Ionen ist im Bereich von 0-9,9 mRad einstellbar. Dies ermöglicht die genaue Lage des Strahlaufschlags auf der Materialoberfläche. Mit der einstellbaren Energie und Ladung der Ionen kann die Tiefe gewählt werden, in der die Materialabfuhr erfolgt. Dies ist nützlich, um signifikante topographische Veränderungen des zugrundeliegenden Substrats zu vermeiden. GATAN 691 Asset kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten. Geeignete Materialien für das Ionenfräsen sind Al, Cu, Ti, Si, Ge und Ni Aluminiumlegierungen. Das Modell ist auch mit einem Behälter zum Sammeln des während des Ionenfräsvorgangs erzeugten ablatierten Materials und Abfalls ausgestattet. 691 Geräte werden häufig bei der Herstellung von Halbleitersubstraten, Dünnschichtabscheidungssystemen, Kohlenstofffilmen und Galliumarsenidkomponenten eingesetzt. Es hat mehrere Vorteile wie präzise Materialabtragung, minimale Substratschäden und erhöhten Durchsatz. Ionenfrässysteme wie GATAN 691 ermöglichen es Forschern, die Tiefe und den Standort des Materialabtrages genau zu steuern und komplexe Muster und Merkmale in einer Vielzahl von Materialien zu erstellen. Das System ist zuverlässig und kann zur Herstellung von Komponenten nach genauen Vorgaben verwendet werden. Zusammenfassend ist 691 eine sehr zuverlässige Ionenfräse mit einstellbaren Parametern, die einen präzisen Materialabtrag für eine Vielzahl von Anwendungen ermöglicht.
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