Gebraucht GATAN 691 #9253807 zu verkaufen

Hersteller
GATAN
Modell
691
ID: 9253807
Precision Ion Polishing System (PIPS).
GATAN 691 ist eine „Ionenfräsanlage“, eine Art physikalischer Ätzung, die bei der Herstellung und Inspektion von nanoskaligen Proben wie Halbleiterbauelementen verwendet wird. Das System besteht aus einer Ionenquelle, Stromversorgung, Vakuumkammer, verschiedenen Strahlkonzentratoren und digitaler Automatisierungssoftware. Das Gerät ist in der Lage, Präzisionsleistung bis zu 0,1 Nanometer Genauigkeit. Es kann bis in eine Tiefe von 150 Nanometern geätzt werden und ist eines der genauesten und zuverlässigsten verfügbaren Ionenfrässysteme. 691 ist aus langlebigem Edelstahl und anderen rostfesten Materialien konstruiert, um langfristig zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Die Grundkomponenten der Maschine sind die beiden Ionenquellen, ein Cäsium und ein Krypton. Cäsium ist die primäre Quelle mit seiner großen Strom- und Energiedichte, die zu schnellerem Ätzen führt. Der partikelarme Neutralisator des Werkzeugs ermöglicht auch eine höhere Ätzrate. Die Kryptonquelle wird für höhere Energiefräsen und bildgebende Anwendungen verwendet. Beide Quellen sind in einer Vakuumkammer mit einem aufwendigen Kühlgut und verschiedenen Strahlkonzentratoren untergebracht. Das Design sorgt für zuverlässigen Betrieb und maximale Leistung. GATAN 691 wird mit 400 Watt Gleichstromversorgung betrieben und über digitale Automatisierung und Software gesteuert. Ein automatisiertes Bedienfeld ist enthalten, um die Leistung des Modells zu programmieren und zu überwachen, mit der Ausrüstung, die multimaskierte Wafer und Proben analysieren kann. Eine breite Palette von bildgebenden und analytischen Routinen kann auch durch das System durchgeführt werden. Dazu gehören Röntgenspektroskopie, Röntgenstrahl-Oberflächenmapping, mechanische Analyse, optische Mini-integrierte Reflexionsspektroskopie und andere. Diese breite Palette an Analysewerkzeugen macht es zur idealen Wahl für die Qualitätssicherung bei der Herstellung von nanoskaligen Geräten. Schließlich sind Sicherheitsmerkmale eingebaut, die einen Schutz gegen mögliche Gefahren im Zusammenhang mit dem Ionenfräsen bieten. Dazu gehört eine Autostop-Sicherheitseinheit, die im Notfall die Stromversorgung automatisch abschaltet. Andere bordseitige Sicherheitssysteme messen und halten den Vakuumdruck der Maschine und verhindern versehentliche verirrte Ionenstrahlen. Zusammenfassend ist 691 eines der zuverlässigsten und präzisesten verfügbaren Ionenfrässysteme. Es ist in der Lage, nanoskalige Proben mit enormer Genauigkeit zu ätzen und bietet eine breite Palette von analytischen und bildgebenden Routinen, um die Qualitätssicherung bei der Herstellung von nanoskaligen Geräten zu gewährleisten. Die Vielzahl an Sicherheitsmerkmalen gewährleistet zudem ein Höchstmaß an Schutz sowohl für den Anwender als auch für das Werkzeug selbst.
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