Gebraucht GATAN 691 #9278092 zu verkaufen
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GATAN 691 ist eine Ionenfräsanlage für die Probenvorbereitung. Es ist ein physikalisches Bedampfungssystem (PVD), das mit reaktiven Ionen dünne Materialfilme auf der Probenoberfläche erzeugt. 691 wird zur Herstellung extrem dünner dünner Proben zur Abbildung mit einem Elektronenmikroskop (SEM/TEM/STEM) verwendet. GATAN 691 kombiniert verschiedene Prozesse zu einer Einheit, einschließlich Sputterionenätzen (SI), Magnetronsputterabscheidung und chemisch-mechanischer Planarisierung (CMP). 691 besteht aus drei Kammern, die alle an einem Sockel oder Substrathalter befestigt sind. Die erste Kammer ist die Ätzkammer, in der die Probe zum Ionenätzen angeordnet ist. Die Probe wird mit vier Probenhaltern positioniert und die Ätzrate durch Steuerung des Ionenwinkels und des Strahlstroms bestimmt. Motoren in der Kammer bewegen den Probenhalter, um die Belichtungszeit bei Bedarf zur Erzielung der gewünschten Ätzrate zu erhöhen. Die zweite Kammer der GATAN 691 ist die Magnetron-Sputter-Abscheidekammer. Mit dieser Kammer werden dünne Metallfilme aus Gold und Chrom auf die geätzte Oberfläche der Probe aufgebracht. Dabei wird ein elektrischer Kontakt für die Probe gebildet. Die Abscheiderate ist entsprechend der Ätzrate der Probe einstellbar. Die dritte Kammer von 691 ist die chemisch-mechanische Planarisierungskammer. Diese Kammer dient zum Reinigen und Glätten der Probenoberfläche durch Abpolieren von Ablagerungen und Ätzresten. Diese Kammer verwendet ein abrasives Medium, wie Diamant oder Aluminiumoxid, in Verbindung mit einer Druckflüssigkeit, um Material von der Probenoberfläche mechanisch zu entfernen. Mit diesem Verfahren kann eine flache, homogene Oberfläche erzeugt werden. Insgesamt ist GATAN 691 ein hervorragendes Werkzeug für die Probenvorbereitung und Verdünnung. Es kombiniert mehrere Prozesse zu einer Maschine und ist sehr anpassbar, um die Bedürfnisse des Benutzers zu erfüllen. Darüber hinaus benötigt es aufgrund seiner geringen Größe wenig bis keine Bodenfläche, so dass es für den Einsatz in einem Labor oder einer Bildungsumgebung geeignet ist.
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