Gebraucht GATAN 697 #9202471 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9202471
Precision ion polishing system
Ilion II system
Broad beam argon milling system
Whisperlok system: Ability to load / Unload samples
Milling angle: +/- 10 degrees
Milling rate on silicon at 8.0kV: 300um/hr
Low energy focusing penning ion guns
Variable energy: 0.1 to 8.0kV
Ion source:
Ion guns: Two penning with rare earth magnets
Milling angle: +10 to -10°
Ion beam energy: 0.1 - 8.0kV
Ion current density peak: 10(A/cm²)
Beam diameter: Adjustable using gas flow controller / Discharge voltage
Specimen stage:
Mounting: i=Ilion patented blaae
Rotation: 0.5-6.0 RPM
Beam modulation: Single / Double with adjustable range / No modulation
Vacuum:
Dry pumping system: Two stages diaphragm pump backing a 80L/s turbo drag pump
Pressure (torr):
Base: 5 x 10^-6
Operating: 8 x 10^-5
Vacuum gauge: Cold cathode type
Specimen airlock: Whisperlok, specimen exchange time <1 min
User interface:
10" Color touch screen: Simple operation with complete control / Recipe operation
Options:
Certain llion+ II models includes
Llion+ II digital zoom microscope:
Microscope assembly
Digital camera with USB cable / Trigger cable
Imaging PC
Ethernet cable
USB Cable connected to the camera
Power consumption (W):
During operation: 200
Guns off: 100
Argon gas: 25 psi
Power requirements: 100/240 VAC, 50/60 Hz
Manuals included.
GATAN 697 ist eine Ionenfräsanlage, die von GATAN Company entwickelt wurde. Dieses System wurde entwickelt, um Mikrometer-Eigenschaften in einer Vielzahl von Substraten zu bearbeiten, einschließlich Halbleitern, Metallen, Keramiken und Polymeren. Es verwendet energiereiche Ionenstrahlen, um Material präzise und kontrolliert vom Substrat wegzufräsen. 697 verwendet eine High-Flux-Ionenquelle, Kollimationseinheit, Strahlaustragmaschine und Ionenextraktionslinse, um einen fokussierten, energiereichen Ionenstrahl zu erzeugen. Der Ionenstrahl wird dann auf die Oberfläche des Substrats gerichtet, um eine Vielzahl von Prozessen wie Ätzen, Ablation, Sputtern oder Abscheiden zu erzeugen. Der Ionenstrahl kann genau programmiert werden, um mikroskalierte Merkmale und Strukturen im Substrat zu fräsen. GATAN 697 wird von einem einzigartigen Softwarepaket namens GATAN Control gesteuert. Diese Software ermöglicht es Benutzern, das Werkzeug zu programmieren, um jedes Substrat in einem beliebigen Winkel oder Muster zu fräsen. Es bietet eine genaue und wiederholbare Bearbeitung komplexer Strukturen und Formen, indem es eine präzise Steuerung des Ionenstrahls ermöglicht. 697 ist mit robusten Sicherheitsmaßnahmen ausgelegt. Dazu gehören ein automatisches Abschaltelement, das aktiviert wird, wenn der Ionenstrahl auf ein gefährliches Niveau steigt, sowie ein automatisches Abschalten aufgrund eines mechanischen Ausfalls. GATAN 697 ist ideal für die Bearbeitung von Substraten im Mikrometermaßstab für Forschung und Produktion. Es liefert hohe Präzision, wiederholbare Ergebnisse mit minimalem Verschleiß an der Ionenquelle und Komponenten. Dieses Modell ist zuverlässig und kostengünstig, um Mikrometer-Eigenschaften in einer Vielzahl von Substraten zu produzieren.
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