Gebraucht HITACHI IML-4-1 #9283962 zu verkaufen

HITACHI IML-4-1 Ionenfräsanlagen ist ein fortschrittliches Materialsputterätzsystem. Es ist speziell für die Abscheidung eines dünnen Films aus Metall, Isolator und/oder Oxidmaterialien auf einer Vielzahl von Substraten ausgelegt. Das Gerät verwendet eine Hochspannung, die mit einer wechselstabilisierten Stromversorgung geladen wird, die dann innerhalb der Vakuumkammer ionisiert wird. Die positiv und negativ geladenen Ionen werden dann aus der Stromversorgung freigesetzt und über die Vakuumkammer beschleunigt, um mit dem Materialsubstrat zu kollidieren, was physikalische und chemische Erosion verursacht. IML-4-1 Maschine verwendet eine 4-Achsen, Lastschloß, Kammer, mit den Substraten an einer rotierenden Vorrichtung montiert. Das Material wird auf den Substrathalter aufgesetzt und die Halterung in der Kammer beladen. Anschließend wird die Kammer abgedichtet und das Werkzeug auf Hochvakuumniveau beaufschlagt. Die Anlage hat einen maximalen Druck von 5x10-7 Torr, mit einer minimalen HF-Leistung von 30 Watt und einer Betriebstemperatur von bis zu 200 ° C. Die HF-Leistung wird durch die Auto-Tuning-Funktion eingestellt, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Der computergesteuerte Prozessmonitor des Ionenfräsmodells bietet Anwendern eine direkte und Echtzeitanalyse des gesamten Prozesses. Dies trägt zur Präzisionsätzung bei und führt zu ultrahohen Ätzgeschwindigkeiten mit bemerkenswert geringen Verzerrungen. Darüber hinaus ist das Gerät auch mit einem automatisierten Gasstrom-Monitor ausgestattet, so dass Anwender eine konsistente Ätzumgebung gewährleisten können. Das System ist unter Berücksichtigung der Sicherheit konzipiert. Es verfügt über einen Notabschalter, um sicherzustellen, dass Benutzer die Kammer nicht überdrücken. Darüber hinaus ist das Gerät in der Lage, das Vakuumniveau zu überwachen und die Maschine automatisch abzuschalten, wenn das Vakuumniveau unter einen eingestellten Wert fällt. Insgesamt ist das HITACHI IML-4-1 Ionenfräswerkzeug ein fortschrittliches Sputterätzgerät, das hochpräzise Ätzergebnisse auf einer Vielzahl von Materialsubstraten liefert. Die computergesteuerten Prozess- und Gasströmungsmonitore sorgen für eine optimale Ätzumgebung, während die Sicherheitsmerkmale zur Vermeidung von Überdruck und anderen Unfällen beitragen.