Gebraucht ION TECH / VEECO Sourcerer #9156278 zu verkaufen
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ID: 9156278
Ion beam milling system
Ion-Tech 21cm DC guns
MPS 5001 power supplies
Auto gas controller
CTI 10 Cryo pump
SEC-1000-RAP Vacuum system.
ION TECH/VEECO Sourcerer ist ein Ionenmahlsystem zur Nanofabrikation von Halbleitern, Metallen und Legierungen. Dieses hochmoderne Werkzeug bietet präzises, hochwertiges Ätzen für eine Vielzahl von Materialien und Geräten. Das Hauptmerkmal von VEECO Sourcerer ist seine Fähigkeit, einen fokussierten Ionenstrahl (FIB) zu verwenden, um feinmaßstäbliche, nanoskalige Strukturen und Funktionen mit hoher Präzision zu erstellen. Das System besteht aus einer Vakuumkammer, in der die Ionenquelle, ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) und die Probenstufe untergebracht sind. Auf die Probenstufe wird eine Probe gelegt, die dreidimensional manipulierbar ist, so dass die FIB die Probe aus dem gewünschten Winkel treffen kann. Der Ionenstrahl kann die Probe an sehr präzisen Stellen und Tiefen ätzen. Der Auftrag wird mit dem SEM in Echtzeit überwacht und die Ergebnisse können nach Bedarf angepasst werden. Die FIB-Quelle von ION TECH Sourcerer wird mit hoher Energie betrieben und kann Ionen/Atome verschiedener Materialien wie Xenon, Argon oder Sauerstoff liefern. Die Ionen werden in der Regel durch ein Gitter und elektrostatische Linsen beschleunigt, bevor die Probe mit einer Spannung von bis zu 40 Kilovolt. Sourcerer stellt auch einen variablen FIB-Strahlstrom bis 100nA zur Verfügung, der entsprechend den Ätzbereichen eingestellt werden kann. Während des Ätzvorgangs können auch der Vakuumdruck und die Zielsubstrattemperatur manipuliert werden. Dies ermöglicht eine größere Kontrolle der Ätzcharakteristik. Der Ätzgrad, die Ätztiefe und die Erosionsrate können genau gesteuert werden. Darüber hinaus kann das System mit verschiedenen Arten von Detektoren, Strahlrastern und Elektronenabscheiderionen angepasst werden. Dadurch wird ein gleichmäßiges Ätzen über die gesamte Probe gewährleistet, was eine feine Auflösung der Merkmale ermöglicht. Schließlich ist ION TECH/VEECO Sourcerer mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche gebaut, so dass es einfach zu bedienen, so dass mehr Qualität und Effizienz. VEECO Sourcerer bietet ein umfassendes Portfolio an Funktionen und Technologien und ist damit das perfekte Werkzeug für die nanoskalige Halbleiterherstellung, Metallätzung und Nanofabrikation. Diese vielseitige Einheit kann komplizierte, qualitativ hochwertige Funktionen und Komponenten mit höchster Präzision und Geschwindigkeit schaffen, was es zu einem zuverlässigen und effektiven Werkzeug in der Halbleiterindustrie macht.
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