Gebraucht LAM STRATA-3 #293609722 zu verkaufen

LAM STRATA-3
Hersteller
LAM
Modell
STRATA-3
ID: 293609722
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2022
System, 12" Process: CVD 2022 vintage.
LAM STRATA-3 (Low energy ion milling) ist eine moderne Ionenfräse für eine Vielzahl von Werkstoffverarbeitungsanwendungen. Es ist ideal für Anwendungen, die eine niedrige Energie Ionenätzung erfordern, wie Reinigung, Musterung und Planarisierung. Das System besteht aus einem Scanhead, einer Vakuumkammer, einer Waferstufe und einer HV-Quelle. Der Scanhead bietet eine weiträumige Partikelstrahlabtaststeuerung über den gesamten Probenbereich. Die Vakuumkammer trägt zur Aufrechterhaltung eines kontrollierten Vakuums im Arbeitsbereich bei und ist mit dem Abtastkopf verbunden. Die Waferstufe erleichtert das Aufbringen der Probe auf die Vakuumkammer. Schließlich wird die HV-Quelle verwendet, um den Strahlstrom zu aktivieren. Das Gerät wird von drei Ionenfräsen angetrieben. Es hat eine höhere Toleranz für kleine Partikel und wird verwendet, um die obere Schicht des Probenmaterials zu entfernen, ohne die darunter liegenden Schichten zu beschädigen. Die Maschine verfügt sowohl über eine energiesparende als auch eine energiesparende Pistole für eine Vielzahl von Anwendungen. Das Werkzeug ist auch mit einer neu entwickelten hydrokinetischen Kammer ausgestattet, die eine starke hydrodynamische Strömung erzeugt und den Ionenhintergrund im Ionenstrahl reduziert. LAM-STRATA-3 verfügt über ein einzigartiges Wafer-Handling-Gerät, das sicherstellt, dass der Wafer während des Betriebs der Ionenpistolen an Ort und Stelle bleibt. Die Wafer-Versorgungs-, Futter- und Kühlsysteme sind alle in das Ionenfräsmodell integriert. Das Spannfutter hält den Wafer beim Ionenfräsen, während die Versorgungseinrichtung dafür sorgt, dass der Wafer den Ionenpistolen präzise und genau präsentiert wird. Das Kühlsystem reduziert die Wärmeaufnahme durch die Temperaturregelung des Wafers und erleichtert bessere Ätzergebnisse. Das Gerät ist mit verschiedenen Materialien wie Aluminium und Titan kompatibel. Es hat die Fähigkeit, sukzessive Ätzverarbeitung durchzuführen und kann Proben bis zu 50 Mikrometer tief ätzen. Die für LAM-LAM STRATA-3 entwickelte Software ermöglicht die Bearbeitung einer unbegrenzten Anzahl von Wafern. Darüber hinaus verfügt die Maschine über Kammer Nachfüllen und Spülen, wodurch eine saubere und ultra-saubere Umgebung. LAM-STRATA-3 ist ein ideales Werkzeug für eine Vielzahl unterschiedlicher Materialbearbeitungsanwendungen. Es bietet eine leistungsfähige und zuverlässige Lösung zu einem erschwinglichen Preis. Die Anlage ist mit fortschrittlichen Funktionen wie hohem Ionenstrom und einer hydrokinetischen Kammer konzipiert, um den Benutzern die bestmöglichen Ergebnisse zu liefern.
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