Gebraucht NANO-MASTER NIE 4000 #9182949 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9182949
Weinlese: 2016
Ion beam etching system, 14.5"
Physical etching with accelerating Ar ions
Patterned with thick resist for masking
Energetic ion flux during etching overheats:
Substrate
Resist
Substrate temperature: <50°C
SS Cube ion beam chamber
DC Ion gun: 12 cm, 1000 V, 500 mA
DC Motor driven: SS Shutters
Ion beam neutralizer
Ar MFC
Chilled water cooled: Substrate platen, 6"
Wafer rotation: 3-10 RPM
Vacuum stepper motor
Wafer tilt with stepper motor
Pumped rotational seal
Manual / Automatic wafer: Load / Unload
Typical etch rates:
Cu: 20 nm/min
Si: 50 nm/min
Etch uniformity: +/- 5% over 4" area
Turbo pump:
Base pressure with 500 1/sec:
5 x 10-6 Torr < 20 minutes < 2 x 10-7 Torr
Base pressure with 1000 1/sec: 8 x 10-8 Torr
Protect etched metal surfaces from oxidation
Recipe driven
Password protected
Safety interlocked
Missing part: Foreline pump
2016 vintage.
NANO-MASTER NIE 4000 ist eine Ionenfräsanlage, die entwickelt wurde, um hochpräzise Daten und hohe Oberflächenflussraten bereitzustellen. Durch die Verwendung eines fokussierten Ionenstrahls (FIB) schafft NIE 4000 nanogroße Strukturen und Materialien aus einer Vielzahl von Substraten. Die Maschine verfügt über ein hochwertiges, kompaktes Design, darunter zwei integrierte Kammern, die eine Vielzahl von Probengrößen aufnehmen können. NANO-MASTER NIE 4000 System besteht aus einer Flüssigstickstoff-Kühleinheit, einer computergesteuerten Betriebseinheit und einer Kammer, in der der Ionenstrahl erzeugt und fokussiert wird. Im Zentrum der Maschine befindet sich die Ionenquelle, in der die FIB erzeugt wird. Dieser hochpräzise Ionenstrahl ist in der Lage, ultrafeine Nanostrukturen aus einer Vielzahl von Materialien zu erzeugen, einschließlich Metallen und Dünnschichtsubstraten. Eine vollautomatische Gasaufbereitungsanlage hilft, die Daten höchster Qualität zu liefern, indem Restverunreinigungen aus der Probe entfernt werden. NIE 4000 ermöglicht eine genaue Kontrolle der Ionenstrahlenergie, des Strahlstroms und des Fokus. Dies ermöglicht eine vielseitige Fertigung mit exakter Präzision. Mit seinem spezialisierten Softwarepaket kann NANO-MASTER NIE 4000 auch für die Bildgebung, Präzisionstiefenprofilierung und Strukturierung verwendet werden. Darüber hinaus ermöglichen die Benutzeroberflächen die Überwachung, Automatisierung und Benutzersteuerung. Dies macht es einfach, ein Programm anzupassen, um die spezifischen Herstellungsanforderungen des Benutzers zu erfüllen. NIE 4000 integrierte elektrostatische Linse bietet einen größeren Arbeitsabstand, die Ionendurchdringung zu reduzieren hilft. Darüber hinaus ermöglicht seine große Probenstufe, dass mehr Proben in einem einzigen Lauf behandelt werden können. Das verbesserte computergesteuerte Betriebswerkzeug sorgt für genaue und konsistente Daten im Nanometermaßstab. NANO-MASTER NIE 4000 ist eine ideale Bereicherung für die Präzisionsnanomaterialherstellung. Seine fortschrittliche FIB-Technologie und hochpräzise Technik bieten überlegene Leistung und Genauigkeit. NIE 4000 ermöglicht eine größere Anpassung, Genauigkeit und Geschwindigkeit, so dass es eine ideale Wahl für diejenigen, die nach einer fortschrittlichen Ionenfräslösung suchen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor