Gebraucht OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plus #293768259 zu verkaufen

OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plus
ID: 293768259
Wafergröße: 4"
Ion Beam Etching (IBE) system, 4".
OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plus ist eine fortschrittliche Ionenfräsausrüstung für präzise Oberflächennano-Strukturierung. Das System ist so gebaut, dass es eine optionale Anordnung von Substraten wie Silizium, Glas, Diamant, Saphir und andere Breitband-Gap-Materialien aufnimmt. Es verfügt über einen vollautomatisierten Werkzeugstapel, eine optimierte Lithographie für eine verbesserte Ertragsgleichmäßigkeit und eine umfangreiche Kammerfläche mit einstellbaren Tiefen und einstellbaren Winkeln für eine präzise Prozesssteuerung. Das Gerät ist auch kompatibel für eine breite Palette von Fräsanwendungen, einschließlich Ätzen, Abscheiden von dünnen Folien und Erstellen von Mikromustern. Ionfab 300 Plus verwendet präzise Plasmamessungen der Flächendichte und Energieverteilung, um eine vollständige Kontrolle des Ionenstrahls zu gewährleisten. Es verfügt über eine Ionenquelle, die in der Lage ist, niederenergetische Ionenstrahlen im Bereich von 5-200 eV und Ströme bis zu 10 mA zu erzeugen. Diese Maschine verfügt auch über ein einstellbares Ionenoptik-Gehäuse mit einer optischen Ionensäule, die hilft, einen gleichmäßigen und stabilen Ionenstrahl aufrechtzuerhalten, um eine optimale Fräsleistung zu erzielen. Das Werkzeug ist auch mit fortschrittlichen, automatisierten Stufen ausgestattet, die in der Lage sind, Präzisionsanpassungen für hochgenaue Mustererzeugung sowie thermische Näherungsanpassungen für genaue Bearbeitung. Darüber hinaus verfügt OXFORD INSTRUMENTS Ionfab 300 Plus über eine Injektionsstufe vor dem Implantat, um eine präzise Dünnschichtabscheidung und Ionenimplantation zu ermöglichen. Es enthält eine hochauflösende bildgebende Komponente, die eine Auflösung von bis zu 1 nm erreichen kann, mit der Fähigkeit, die Dosisgröße anzupassen, um gleichmäßige Ergebnisse über mehrere Substratebenen zu erzielen. Das Modell ist auch mit Vakuumprotokollen kompatibel, um vakuumkompatible Prozesse zu gewährleisten und die Fräszeit zu verlängern. Der OxfordsIonfab 300 Plus ist eine ideale Wahl für diejenigen, die an der Erforschung und Entwicklung fortschrittlicher mikro- und nanostrukturierter Oberflächenstrukturen beteiligt sind. Es wurde mit benutzerfreundlicher Software entwickelt, so dass es extrem einfach eingerichtet und verwendet werden kann, ohne die Genauigkeit oder Leistung zu beeinträchtigen. Die Ausrüstung ist eine wertvolle Ergänzung zu jedem Labor und ist in der Lage, fortschrittliche Prozesse, so dass mehr Kontrolle, Genauigkeit und Ertragsgleichmäßigkeit.
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