Gebraucht OXFORD Ionfab 300 Plus #293815692 zu verkaufen
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ID: 293815692
Wafergröße: 6"
Ion Beam Etching (IBE) System, 6"
Materials: Au, Cr, Ta, Al, Fe, Co, Boron and Silicon
Process: IBE
Gas supply system including MFCs
(2) AR Gas lines
Ion source diameter: 35 cm
Single wafer capability
Load lock
Auto loader
Tiltable substrate holder angle: −90° to +35° (0° = vertical, 0° incidence angle)
Wafer backside cooling
No WLOM
Endpoint monitoring
Dry scroll pump
Small turbo molecular pump
Rotary vane pump
Turbo molecular pump
No chiller
Operating system: Windows XP
Power supply: 3000 W.
OXFORD Ionfab 300 Plus ist eine Ionenfräsanlage, die für den Einsatz in hochpräzisen Anwendungen wie Oberflächenplanarisierung, Nanopatterie und Metallätzen entwickelt wurde. Es ist mit einer hochfrequenten, hochenergetischen Dualstrahl-Ionenquelle ausgestattet, die sowohl chemisches als auch physikalisches Sputtern liefert. Darüber hinaus verfügt das System über eine Vielzahl von mehrstufigen Rotationspumpen und Filtersystemen für sauberen Betrieb und langfristige Zuverlässigkeit. Ionfab 300 Plus verfügt über eine 6-Ziel-Gaseinspritzeinheit, die präzise Programmierbarkeit der Gas-/Zielzusammensetzung, eine hochauflösende Farbkamera und eine umfassende Steuerungsmaschine mit manuellen und computergesteuerten Optionen bietet. Die hochfrequente Dual-Beam-Ionenquelle kann eine breite Palette von Sputter-Prozessparametern erreichen, einschließlich Ätzraten, Abscheideraten und Prozessreproduzierbarkeit. Der Ionenstrahl bietet eine hervorragende Oberflächengüte mit minimierten Oberflächenrückständen und minimierten Oberflächeneffekten. OXFORD Ionfab 300 Plus ist mit einem hochentwickelten Steuerungswerkzeug ausgestattet, das eine präzise Steuerung und Überwachung der Sputterprozesse ermöglicht. Diese Anlage ermöglicht die Programmierung einer Vielzahl von Prozessparametern, einschließlich Substrattemperatur, HF-Generatorleistung, Strahlausrichtung und Druckunterschiede. Das automatisierte Modell kann auch für komplexe Prozessrezepte mit manuellem Eingriff verwendet werden. Hinsichtlich Sicherheit und Umwelt ist der Oxonfab 300 Plus mit einer geringen Emissionsquelle, minimalem Lärm und niedrigen Vibrationen ausgelegt. Es ist auch zertifiziert, um die Gesundheits- und Sicherheitsanforderungen der Europäischen Union zu erfüllen und entspricht der RoHS-Richtlinie. Darüber hinaus wird die Ausrüstung durch eine dreijährige Garantie abgedeckt und für den Betrieb in einem Temperaturbereich von 30 ° C bis 95 ° C bewertet. Insgesamt ist Ionfab 300 Plus ein branchenführendes Ionenfrässystem, das mit präziser Kontrolle und Wiederholbarkeit einwandfreie Ergebnisse erzielen kann. Es wurde entwickelt, um hochpräzise Anwendungen wie Oberflächenplanarisierung, Nanopatterning und Metallätzen zu erfüllen. Das Gerät entspricht auch den Gesundheits- und Sicherheitsvorschriften und wird durch eine dreijährige Garantie für zusätzliche Sicherheit abgedeckt.
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