Gebraucht PHILIPS / FEI DB235 #293616080 zu verkaufen
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ID: 293616080
Weinlese: 2002
Scanning Electron Microscope (SEM)
(2) GIS
Detectors: SED, TLD, CDEM, STEM
2002 vintage.
PHILIPS/FEI DB235 ist eine Ionenfräsanlage zum präzisen Oberflächenpolieren (oder „Sputtern“) von mikroelektronischen Bauteilen. Dieses Frässystem verwendet einen hochfokussierten Ionenstrahl, um Mikroskalendefekte von den Oberflächen zu entfernen, ohne das darunter liegende Substratmaterial zu beschädigen. Der Ionenstrahl wird von einer Ionenquelle erzeugt, die mit einer Vakuumkammer gekoppelt ist. Zur Steuerung der Größe und Form des Ionenstrahls ist am Eingang der Vakuumkammer eine verstellbare Blende angebracht. Der Ionenstrahl wird durch eine Reihe von Linsen fokussiert und gerichtet, wodurch ein feiner Strahl mit einem Durchmesser von typischerweise 5 Mikron oder weniger entsteht. Mit dieser Ausrüstung können Teile mit einer Genauigkeit von bis zu 1 Mikron oder besser gefräst werden. Die Programmierung der Fräseinheit ermöglicht es Benutzern, die Tiefe des Sputterns, die Richtung der Ionen und die Geschwindigkeit des Sputterns einzustellen. Es ist möglich, die Fräsverhältnisse so einzustellen, daß ein Fein- oder Grobpolieren erreicht werden kann. Zusätzlich kann auf FEI DB235 Maschine die Ionenquellenleistung eingestellt werden, um die Strahlenergie zu variieren, um verschiedene Substrate und Muster der Fehlerentfernung aufzunehmen. Das Werkzeug ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Ein Sicherheitsverschluss sorgt dafür, dass der Strahl bei Nichtgebrauch nicht aktiv ist. Eine automatisierte Reinigungsanlage innerhalb der Kammer schrubbt periodisch die Innenflächen, so dass eine Verschmutzung während des Fräsvorgangs nicht ohne weiteres auf die Bauteile übertragen wird. PHILIPS DB 235 Modell ist ideal für viele mikroelektronische Anwendungen, einschließlich der Herstellung von hochdichten integrierten Schaltungen und MEMS. Diese Ausrüstung hat sich als kostengünstige Lösung für Präzisionsfräsen und Oberflächenpolieren erwiesen, so dass sie sowohl in der Forschung als auch in der Industrie eingesetzt werden kann.
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