Gebraucht PHILIPS / FEI Helios NanoLab 600 #9229169 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9229169
Weinlese: 2009
Dual beam Focused Ion Beam system (FIB)
Without loadlock
With regular stub sample holder
Process: Xsection preparation / Imaging
Pre-pump with chiller
Missing parts / Accessories:
High voltage power supply for e-beam defect
2009 vintage.
PHILIPS/FEI Helios NanoLab 600 ist eine Dual-Beam-Ionen-Fräsanlage für präzise Nanofabrikationsanwendungen. Es kombiniert fokussierte Ionenstrahl (FIB) und Rasterelektronenmikroskop (SEM) Fähigkeiten in einer einzigen vielseitigen Plattform, die hohe Präzision, hohe Geschwindigkeit und hohe Bildauflösung bietet. Das System verfügt über eine zwei Kanonen FIB-Kammer, die verwendet wird, um einen Fernstrahl Strom und Sputter Material während der Fräsoperationen zu liefern. Sein einstellbares Hochspannungsnetz ermöglicht eine Strahlregelung beim Fräsen. Die FIB-Kammer enthält auch eine Vakuumeinheit, die einen Druck von unter 1x10-6 Torr erreichen kann. Die Doppelstrahlmaschine sorgt dafür, dass die gleiche Fläche in einem Durchgang gefräst und abgebildet werden kann, wodurch die gesamte Zykluszeit minimiert wird. Das Rasterelektronenmikroskop (SEM) des FEI Helios NanoLab 600 ist für erweiterte Bildgebungsfunktionen geeignet und wird durch das optionale E-Strahl-Bildgebungspaket erweitert. Dieses Paket erhöht die Fähigkeiten des bildgebenden Tools und ermöglicht eine überlegene bildgebende Auflösung, hochempfindliche EDS-Elementaranalyse und Röntgenbeugung (XRD). Das Asset beinhaltet auch automatisierte Systeme für die Probenabwicklung und den Austausch. Die automatisierte Probenegulierungsplattform bewegt sich nach Bedarf zum Fräsen/Ätzen und Abbilden auf und ab. Für die Entnahme und den Austausch von Probenhaltern ist ein automatisiertes Deckelöffnungsmodell implementiert. Diese Funktionen ermöglichen eine unterbrechungsfreie automatische Probenverarbeitung. Das Gerät verfügt über eine hochpräzise x- und y-Achsen-Bühne mit einer Merkmalsgrößengenauigkeit von 1 nm. Die Stufe wird von separaten digitalen Servoverstärkern angesteuert, was sie für Sub-Mikron-Anwendungen geeignet macht. Darüber hinaus ist es mit einem Luftlagersystem ausgestattet, das eine reibungslose und präzise Probenmanipulation gewährleistet. Abschließend ist PHILIPS HELIOS NANOLAB 600 eine fortschrittliche Ionenfräseinheit, die eine vielseitige Dual-Beam-Plattform zum Fräsen und Abbilden von Nanostrukturen mit hoher Präzision bietet. Die automatisierte Probenhandhabungsmaschine, die hochpräzise x- und y-Achsen-Stufe und die Dual-Gun-FIB-Kammer kombinieren sich zu einem leistungsstarken Werkzeug für die Nanofabrikation.
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