Gebraucht PHILIPS / FEI Strata 400 #9302302 zu verkaufen
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PHILIPS/FEI Strata 400 ist ein vielseitiges und leistungsstarkes Ätzwerkzeug zur Herstellung komplexer mikroelektronischer Bauelemente wie Transistoren und Mikroprozessoren. FEI Strata 400 verfügt über ein dreiachsiges motorisiertes Bewegungssteuerungssystem, um eine einfache und genaue Positionierung des Substrats und des Ionenstrahls zu ermöglichen. Die Ionenstrahlenergie ist von 0 bis 300 Volt einstellbar und mit einem einstellbaren Ionenstrahlstrom von bis zu 20 Milliampere gekoppelt. Mit der dreiachsigen Bewegungssteuerung lassen sich Substrate bis auf wenige Nanometer Dicke präzise fräsen. PHILIPS Strata 400 ist mit einer Mustererkennungsmaschine ausgestattet, die eine Vielzahl von 3D-Mustern und anderen Strukturgrößen verstehen kann. Es kann auch zwischen verschiedenen Materialien unterscheiden und die höchsten Punkte genau erkennen, um hohe Seitenverhältnisse präzise zu fräsen. Zusätzlich enthält die Strata 400 ein Betätigungswerkzeug mit geschlossenem Regelkreis, das eine Feinabstimmung des Ionenstrahlstroms auf exakte Empfindlichkeit ermöglicht. PHILIPS/FEI Strata 400 Ionenmahlanlage verfügt über eine Vielzahl von Gasfördersystemen, mit Sauerstoff als primäres Ätzgas und Chlor, Fluor, Schwefelhexafluorid und Xenon als zusätzliche Ätzgase. Es weist auch einstellbare Gasdurchflussraten auf, um den Durchfluss eines weiten Bereichs von Gasen über die substrateinstellbare Zeit/Dauer-Regelung zu steuern, um präzise Materialmengen wegzuätzen. FEI Strata 400 kommt mit einem eingebauten Automatisierungsmodell, einschließlich Software, die das Be- und Entladen von Substraten, die Kammerreinigung, die Wartung von Vakuumpumpen und andere Operationen automatisiert. Diese Ausrüstung ermöglicht eine einfache Einrichtung und Bedienung des Ätzprozesses sowie eine Fehlerbehandlung bei Problemen. PHILIPS Strata 400 Ionenfrässystem ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug zum Ätzen präziser Strukturen für eine Vielzahl von Anwendungen. Mit seiner Kombination aus Präzisionsbewegungssteuerung, einstellbarer Strahlenergie, Mustererkennungstechnologie, Gaszufuhrsystemen und Automatisierung ist es ein ideales Werkzeug für die Herstellung komplexer elektronischer Geräte im Nanobereich.
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