Gebraucht PHILIPS / FEI XL 865 #9284883 zu verkaufen
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ID: 9284883
Focused Ion Beam (FIB) System
Dual beam
SIRION FEG Electron column
With Immersion lens
Magnum ion column
(2) Gas injectors
Stage, 8"
With loadlock
Robot for loading wafers
(2) Cassettes
Active vibration cancellation
EMI Cancellation.
Die' PHILIPS/FEI XL 865 'Ionenfräse ist ein hochauflösender kryogener Kryobildner, der in präzisen Ionenfräsprozessen eingesetzt wird. Das System wurde speziell für verschiedene Fräsanwendungen entwickelt, darunter Metall, weiche Materialien, harte Materialien, Glas und Keramik. FEI XL 865 verfügt über eine ausgeklügelte digitale Steuereinheit, die eine automatisierte Bedienung und Prozessüberwachung ermöglicht. Diese Steuermaschine wird auch zur Prozessoptimierung und Prozessüberwachung eingesetzt, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Das Werkzeug hat eine maximale Auflösung von 15nm und kann bis zu 1000 Mikrometer tief mit einer hohen Präzision fräsen. Die Anlage ist mit einer Hochleistungs-Kryo-Ionen-Quelle und -Kammer ausgestattet, um das Ionenfräsen bei kryogenen Temperaturen zu erleichtern. Dadurch wird ein Schmelzen und Beschädigen des Werkstücks verhindert. Um eine hohe Fräsgenauigkeit zu gewährleisten, verwendet das Modell eine leistungsstarke Ionenpistole, die verschiedene Strahlstrombereiche erzeugen kann. Die Ausrüstung umfasst auch eine ganze Reihe von Zubehör wie Kammern, Magnumstrahlteleskope und andere notwendige Komponenten. Das System ist mit einer EDX - Energy Dispersion Röntgeneinheit ausgestattet, die bei der Analyse der Materialien unter Ionenbeschuss hilft. Darüber hinaus kann es manuell oder über eine vollautomatisierte Steuermaschine bedient werden. Das Werkzeug besteht aus einer Vakuumkammer, einem Ionenpistolen-Array, einem Kühlelement, einem Manipulator und einem Gaseinlassmodell. Zur Feinabstimmung der Kammertemperatur wird eine Temperaturregeleinrichtung eingesetzt, um optimale Fräsergebnisse zu erzielen. Das System kann auch mit einem Niederspannungs-Hochleistungsemitter zum Ionenfräsen von Materialien, die weicher als Titan sind, konfiguriert werden. PHILIPS XL 865 verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale, wie Hochspannungs-/Stromgrenzenabschaltung und Überstrom-/Temperaturschutz. Ein effektiver Notfallmonitor ist ebenfalls enthalten, um die Sicherheit des Personals während des Betriebs zu gewährleisten. XL 865 Ionenfräse ist eine leistungsfähige und zuverlässige Maschine, die eine große Kontrolle über den Fräsprozess bietet. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien über längere Frästiefen zu fräsen und gleichzeitig Präzision, Genauigkeit und Sicherheit zu gewährleisten.
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