Gebraucht SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200 #293828738 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293828738
Wafergröße: 4"-6"
Weinlese: 2015
Ion milling system, 4"-6"
Vacuum chamber with pump system
Handling robot with cassette loading
Vacuum pre-aligner / Wafer ID reader
Neutralizer and (4) Axis systems
Wafer chuck with mechanical wafer clamping and helium backside
Control rack with electricity supply and control PC
Interface: SECS / GEM
RGA Integration
Gas channel
Handling unit: MX500 With (2) Load-locks
RGA Via ethernet
Manual control of RGA
Visual output of measurement
(14) Individuals masses: Alarm threshold / Tolerance
(14) Masses: Online / Offline trend
Gas piping 1/4" stainless steel with VCR fitting
Cabinet system frame
Hardware integration
SECS / GEM Integration:
Mass flow controller (MKS) / (2) Pneumatically operated valve
(7) Additional gas channels
Inert, 1/4"
RGA MKS HPQ3 S For process monitoring:
Power supply
GRANEVILLE PHILLIPS Micro gauge
Hardware:
MKS Instrument HPQ3S IP RGA
Controlled angle valve between process chamber
RGA To protect filament
Process chamber:
BROOKS MX 400 Handling robot
Axis system (X-Y-Z-Phi axis)
SECS II-SEMI E5-0706 (Standard)
GEM-SEMI E30-1103 (Standard)
Lower level protocol: HSMS-SS - SEMI E37-0303 (Standard)
Facility supply:
(3) Gas channels
Compressed air
Cooling wafer distribution
Handling platform:
BROOKS MX500 With (2) cassette load-locks
MX400 With load-lock
Wafer over (2) cassette load-locks
2015 vintage.
SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200 ist eine fortschrittliche Ionenfräsanlage, die für den präzisen Materialabtrag in der Halbleiterherstellung, Forschung und Entwicklung und anderen High-Tech-Industrien entwickelt wurde, die nanoskalige Verarbeitungsfähigkeiten erfordern. Als führender Anbieter innovativer Ionenstrahlverarbeitungslösungen hat SCIA SYSTEMS TRIM 200 entwickelt, um den Anforderungen modernster Anwendungen gerecht zu werden, die eine überlegene Oberflächenqualität, Einheitlichkeit und Kontrolle über den Materialabtragungsprozess erfordern. SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200 Ionenfrässystem bietet außergewöhnliche Leistung und Flexibilität dank modernster Technologie und fortschrittlicher Funktionen. Das Gerät ist mit einer hocheffizienten Ionenquelle ausgestattet, die einen fokussierten Ionenstrahl zur präzisen und kontrollierten Materialentfernung erzeugt. Dieser Ionenstrahl kann mit verschiedenen Ionenarten konfiguriert werden, um den spezifischen Verarbeitungsanforderungen verschiedener Materialien gerecht zu werden und so maximale Prozessflexibilität und Effizienz zu gewährleisten. Eines der wichtigsten Highlights von TRIM 200 Maschine ist seine fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen, die Hochdurchsatzverarbeitung und effizienten Betrieb ermöglichen. Das Werkzeug ist mit einer ausgeklügelten Software-Schnittstelle ausgestattet, mit der Benutzer die Verarbeitungsparameter wie Ionenstrahlenergie, Einfallswinkel und Fräszeit einfach programmieren und steuern können. Diese Automatisierungsfunktion erhöht nicht nur die Produktivität der Anlage, sondern sorgt auch für konsistente und reproduzierbare Ergebnisse für komplexe Fertigungsprozesse. Neben seinen Automatisierungsfunktionen bietet SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200 Ionenfräsmodell eine Reihe fortschrittlicher Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen, um einen präzisen und zuverlässigen Materialabtrag zu gewährleisten. Das Gerät ist mit In-situ-Messtechnik-Tools ausgestattet, die eine Echtzeit-Überwachung wichtiger Prozessparameter wie Ionenstromdichte, Strahlprofil und Materialabtragsrate ermöglichen. Dieser Echtzeit-Rückkopplungsmechanismus ermöglicht es Benutzern, die Prozessparameter on-the-fly anzupassen, um die gewünschte Materialabtragsrate und Oberflächenqualität zu erreichen. Darüber hinaus ist das TRIM 200-System mit einer hochpräzisen Probenstufe ausgestattet, die eine genaue Positionierung und Ausrichtung des Substrats während des Fräsvorgangs ermöglicht. Diese präzise Steuerung der Probenposition gewährleistet einen gleichmäßigen Materialabtrag über die gesamte Oberfläche, was zu qualitativ hochwertigen Ergebnissen mit hervorragender Reproduzierbarkeit führt. Das Gerät bietet auch eine Reihe von Probenhaltern und Befestigungsoptionen für verschiedene Substratgrößen und -formen, so dass es für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiter- und Mikroelektronik-Industrie geeignet ist. Insgesamt ist SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200 Ionenfräsmaschine eine hochmoderne Lösung für hochpräzise Materialabtragungs- und Oberflächenmodifikationsanwendungen. Mit seiner fortschrittlichen Technologie, Automatisierungsfunktionen und Prozesssteuerungsfunktionen bietet TRIM 200 Anwendern ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug, um in einer Vielzahl von nanoskaligen Verarbeitungsanwendungen überlegene Ergebnisse zu erzielen. Ob für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, Forschung oder Prototyping, SCIA SYSTEMS GMBH TRIM 200 Tool bietet außergewöhnliche Leistung und Vielseitigkeit, um die sich entwickelnden Anforderungen der High-Tech-Industrie zu erfüllen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor