Gebraucht VEECO IBD / IBE #9313137 zu verkaufen

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VEECO IBD / IBE
Verkauft
Hersteller
VEECO
Modell
IBD / IBE
ID: 9313137
Middle film PBD sputtering system Cx6 C-2 Etch mill module Computer NEXUS CTC Flex-V2.08.135 Cluster tool controller (3) Component cabinets: (6) SORENSEN DSC60-18E / DCS600-17 Power supplies (6) SPELLMAN SL300 / SL1200 Power supplies ADVANCED ENERGY RF-20MWC Power supply (2) APC Smart-UPS SC450 (2) CRU CD ROM Main / Backup drives DC Power supply (2) Cryo On Board controls (2) Turbo power supplies Matching network Tuning panel RF Power supply SORENSEN DCS20-150 Power supply (2) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors Electrical cabinets (2) EDWARDS QDP40 Vacuum pumps EDWARDS IQDP80 Vacuum pump POLYCOLD PFC-1100LT Cryogenic refrigeration unit / Chiller DAYTON Overhead hoist with rail Pendant.
VEECO IBD/IBE ist eine Ionenfräsanlage, die für Planarisierungs-, subtraktive Ätz- und Geräteprüfanwendungen verwendet wird. Das System ist so konzipiert, dass eine präzise, ultrafeine Steuerung von Ionenenergie und -fluss möglich ist, um möglichst hohe Qualitätsergebnisse zu erzielen. Es verfügt über eine hochoptimierte Strahlbaugruppe und einen linearen Controller, mit dem Benutzer die Ionenstrahlparameter auf maximale Ätztiefe und Gleichmäßigkeit fein abstimmen können. Im Zentrum von IBD/IBE steht eine Feldemissionselektronenkanone, die einen breiten Strahl von energetischen Ionen erzeugt, die auf das Substrat fokussiert und beschleunigt werden können. Sobald der Strahl das Substrat erreicht hat, erzeugt er einen Planarisierungseffekt, mit dem topographische Oberflächenstrukturen ausgerichtet werden. VEECO IBD/IBE hat auch die Fähigkeit, Ätztiefen genau zu steuern, was eine einheitliche Ätzrate auch bei komplizierten 3D-Funktionen bietet. Der lineare Regler des Geräts ist in der Lage, glatte, einstellbare Strahlparameter zu erzeugen, so dass Benutzer den Strahl für optimale Ätzeigenschaften feinabstimmen können. VEECO advanced beam optimization process stellt sicher, dass die gesamte Topographie einer Struktur abgeglichen wird, ohne dass seitliche Topographie Schäden an benachbarten Merkmalen verursacht werden. Neben Planarisierung und subtraktivem Ätzen kann IBD/IBE auch für eine Vielzahl von Gerätetestanwendungen eingesetzt werden. Seine variable Strahlleistung ermöglicht es Benutzern, Strom vs. Spannung und temperaturabhängige Messungen mit Genauigkeit durchzuführen. Die Maschine enthält auch mehrere präzise Bewegungssteuerungsoptionen, die präzise Geräteprüfungen ermöglichen. Insgesamt ist VEECO IBD/IBE ein fortschrittliches Ionenfräswerkzeug, das eine hochpräzise Steuerung der Strahlparameter und Bewegungssteuerungsfunktionen ermöglicht. Es ist ein ideales Werkzeug für Planarisierung, subtraktives Ätzen und Geräteprüfungen, die eine hohe Präzision erfordern.
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