Gebraucht VEECO / ION TECH MPS-3000 HC #9196218 zu verkaufen
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ID: 9196218
Weinlese: 2010
Ion gun power supply
P/N: 6700-010
3-1500-100 3CM beam diameter ion source
Cable and power feed through
Neutralizer with cable
Interlock and probe cables
Spare parts included
2010 vintage.
VEECO/ION TECH MPS-3000 HC ist eine hochentwickelte Ionenfräsausrüstung, die für eine Vielzahl von Mikrobearbeitungsanwendungen verwendet wird. Dieses System entfernt effektiv Materialien im mikroskopischen Maßstab und erzeugt nanoskalige Strukturen, Formen und andere Merkmale. VEECO MPS-3000 HC ist ideal für eine Vielzahl von Halbleiter- und mechanischen Verarbeitungsanwendungen. Diese fortschrittliche Technologie bietet überlegene Ionenschneidmöglichkeiten und liefert hervorragende Ergebnisse. ION TECH MPS-3000 HC verfügt über eine hohe Strahlstromdichte und ist mit einer Schneideinheit ausgestattet, in der sich zwei separate Schneidköpfe in einer Drehbewegung bewegen. Die Maschine kann Funktionen bis zu einer Größe von 1 µm mit hoher Auflösung genau ätzen. Um präzise und genaue Ergebnisse zu gewährleisten, wird der Ionenstrahl fest fokussiert und zirkuliert, während die Bildrate sehr schnell ist. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit mehreren Stufen ausgestattet, von denen jede so konfiguriert werden kann, dass sie unterschiedliche Materialien, Masken und Ätzparameter aufbringen. Die Anlage enthält auch mehrere Sicherheitsmerkmale. Der Ionenstrahl wird konditioniert und gestreut, bevor er den Wafer erreicht, wodurch die Wafertemperatur während der Verarbeitung minimiert wird. Die Endstation verfügt über ein automatisiertes Wafer-Handling-Modell, das Fehlausrichtungen an Wafern erkennen kann, und das Gerät kompensiert automatisch alle Fehlausrichtungen. Dadurch werden Schäden am Wafer oder anderen Teilen des Systems vermieden. MPS-3000 HC bietet auch eine Reihe von Prozesssteuerungsfunktionen. Der Benutzer kann Befehle an das Gerät von einem entfernten Standort aus ausgeben, und eine Vielzahl von Steuerparametern stehen für die Anpassung zur Verfügung. Zusätzlich bietet die Maschine Echtzeitüberwachung und Datenloginterpretation, um feine Prozessanpassungen zu ermöglichen. Dies hilft, die Werkzeugleistung über lange Produktionsläufe aufrechtzuerhalten. Die Anlage bietet auch eine breite Palette von benutzerfreundlichen Funktionen. Die intuitive Benutzeroberfläche macht es einfach zu verstehen und zu navigieren, und das Modell bietet klare Tutorials und Wartungsunterstützung. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine sichere Fernbedienung, mit der Benutzer von entfernten Standorten aus auf Systemdaten zugreifen können. Insgesamt ist VEECO/ION TECH MPS-3000 HC eine fortschrittliche und leistungsstarke Ionenfräse, die für eine Vielzahl von Mikromaschinen eingesetzt wird. Seine Schneidfähigkeiten, Präzisionssteuerung und Sicherheitsfunktionen liefern hervorragende Ergebnisse für eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungsaufgaben.
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