Gebraucht VEECO ME-1001 #9236813 zu verkaufen
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ID: 9236813
Wafergröße: 8"
Ion beam milling system, 8"
Argon plasma for microelectronics patterning
Water cooled substrate holder.
VEECO ME-1001 ist eine Ionenfräsanlage für die hochgenaue Oberflächenbehandlung. Das patentierte Oberflächenbehandlungssystem eignet sich gut für Halbleiter- und pharmazeutische Anwendungen. Dieses Gerät ermöglicht eine extrem enge Partikelkontrolle, ohne dass Staub- oder Schmutzpartikel eine Maschine verunreinigen können. Es bietet eine enge Prozesssteuerung durch die Kombination von elektrostatischem Feld, der hochpräzisen Oberflächenbehandlung und Hochleistungsvakuumwerkzeug. ME-1001 ist ein vollautomatisierter Makroporefräser mit einer hochgenauen und gleichmäßigen Oberflächenbehandlung. Es verwendet ionisiertes Gas mit hohem Druck als Mahlmedium, allgemein als Ionenmahlung bezeichnet. Damit ist er konventionellen trockenen Schleifsystemen überlegen. Das Modell VEECO ME-1001 verfügt über eine Vorschubkammer, eine Ionenfräskammer und eine Endabscheidekammer für Ionen. Es verfügt auch über eine leistungsstarke Vakuumausrüstung, um einen sauberen, sicheren und konsistenten Betrieb zu gewährleisten. ME-1001 verwendet ein fortschrittliches Beschleunigerdesign mit einer geerdeten Anode zur Herstellung von Sekundärelektronen, die eine einheitliche Oberflächenmodifikation ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das System über eine Ablenkeinheit zum Schutz der Probe vor Beschädigungen. VEECO ME-1001 verfügt auch über eine bahnbrechende Luftkühlmaschine, um feinkörnige Partikel und effiziente Fräsvorgänge zu gewährleisten. Das Tool ist mit einer hochgenauen Rückkopplungssteuerung ausgestattet, die aus Überwachungsanschlüssen, Temperatursensoren und Massenspektrometern für eine genaue Prozessüberwachung besteht. Es ist auch in der Lage, die Temperatur der Probe und des ionisierten Gases, den Abstand zwischen der Probe und der Ionenquelle, die Ionenstrahlenergie und die Ionendichte zu steuern. ME-1001 ermöglicht die konsequente Erreichung zielgerichteter Oberflächenstrukturen mit minimalem menschlichen Eingriff. Es bietet eine hohe Präzision und Flexibilität, die die Verarbeitung komplexer Formen sowie eine hervorragende Wiederholbarkeit ermöglicht. Dieses Modell ist ideal für die Substratverarbeitung, die eine glatte Oberflächengüte für die Abscheidung von dünnen Filmen erfordert. Insgesamt ist VEECO ME-1001 eine fortschrittliche, hochgenaue und zuverlässige Ionenfräsanlage, die die Flexibilität bietet, kundenspezifische Anforderungen zu erfüllen. Seine überlegenen Spezifikationen und überlegene Leistung macht es zu einer bevorzugten Wahl für die Verarbeitung komplexer Formen mit hoher Präzision.
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