Gebraucht VEECO RF 350 C2 IBD #9124215 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9124215
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1998
Ion beam deposion (IBD) cluster tool, 6"
Dep module
Etch module system
Transport module includes:
BROOKS Automation robot wafer handler system
Loadlock A & B
Electronics cabinet contains:
(2) APC 450 UPS
Raritan compu-switch
Industrial PC
(2) LEYBOLD INFICON IG3 Vacuum gauge controllers
PFEIFFER TCP380 Turbovac controller
(2) SORENSEN DCS60-18 Power supplies
SORENSEN DCS20-150 Power supply
SPELLMAN SL300 Power supply
SPELLMAN SL1200 Power supply
Process modules include:
PFEIFFER Turbo pump with TCP600 controller
CTI Onboard cyropump with fastregen sputtering module
CTI 8200 Compressor
RFPP AM-10/20 Auto matching network
ADVANCED ENERGY RF10M / RF20M Power supply
CTI Onboard controller
RF Matching network monitor
Main power distribution panel: 208V, 100A
1998 vintage.
VEECO RF 350 C2 IBD (Ion Beam Deposition) ist eine Ionenfräsanlage, die speziell für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Dank der integrierten Sputterreaktor- und Ionenstrahlaufpralltechnologie ist er für eine Vielzahl von Abscheide- und Fräsvorgängen gut geeignet. Das System ist in der Lage, randdefinierte Filmwachstum (EBSD) und andere Mikrogeräteherstellungsprozesse. Die Ionenfräse ist vakuumkompatibel und enthält mehrere Merkmale, die ihre Effizienz optimieren. Der RF 350 enthält eine Hochfrequenz-Plasmaquelle, eine 2000 Watt Hochfrequenz-Stromversorgung und eine 100 cm2 Vakuumkammer, mit der Plasmaphotonen und Elektronen für beschleunigtes Fräsen erzeugt werden können. Die leistungsstarke HF-Quelle dient auch als kritischer Bestandteil des gesamten Sputterprozesses und ermöglicht eine Reihe von Abscheidungsfilmen von Nanometern bis Mikrometern Dicke mit präziser Gleichmäßigkeit. Der RF 350 verfügt zudem über eine ausgeklügelte Winkelausrichtung der Ionenquelle. Dadurch wird die entsprechende Gleichmäßigkeit und Dicke der abzuscheidenden Folien gewährleistet. Der RF350 C2 enthält zwei computergesteuerte Ionenquellen, die für hochpräzise Abscheidefilmanwendungen individuell einstellbar sind. Darüber hinaus umfasst der VEECO RF350 C2 IBD-Beleuchter eine Vielzahl von Optiken und Detektoren, um Materialien höchster Qualität in den gesamten Herstellungsprozess zu bringen. RF 350 C2 IBD wird von einer umfassenden Steuerungsmaschine gesteuert, die eine verbesserte Prozessüberwachung mit wiederholbaren Ergebnissen ermöglicht. Die benutzerfreundliche grafische Oberfläche zeigt kritische Informationen in Echtzeit an und bietet eine Reihe von Datenerfassungsfunktionen für die komplexesten Anwendungen. Das Ionenfräswerkzeug ist in der Lage, hochauflösendes Fräsen und Ätzen verschiedener Materialien zu erreichen, darunter Metalle, Polymere, Kohlenstoff und Silizium. RF350 C2 IBD ist eine ideale Wahl für r2D-2D Geräte und Nanostrukturen. Dank der integrierten Eigenschaften und der fortschrittlichen Technologie eignet es sich perfekt für enge Produktionstoleranzen, dünne, hochwertige Folien und komplexe Geometrien und bringt dem Anwender hochwertigste Teile und Materialien.
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