Gebraucht VEECO VS 300 #70878 zu verkaufen

VEECO VS 300 ist eine Ionenfräsanlage zur Strukturierung von Profilen mit hohem Seitenverhältnis in anorganischen Werkstoffen wie Metallen und Keramik. Es ist für Materialbearbeitungsanwendungen wie Micropatterning und Micromachining bei der Herstellung von Halbleiter- und Dünnschichtbauelementen konzipiert. Das System besteht aus vier Hauptkomponenten, der Ionenstrahlquelle, der Scannereinheit, dem Gaskasten und der Vakuumkammer. Die Ionenstrahlquelle erzeugt ein Hochspannungspotential, das auf die Probe gerichtet ist, um Ionen von der Oberfläche der Probe in das Vakuum der Kammer zu lösen. Die Ionen bombardieren den gezielten Probenbereich, wodurch seine Oberfläche ablatiert, was das gewünschte Muster oder geätzte Merkmale hinterlässt. Die Scannermaschine gewährleistet eine genaue und wiederholbare Positionierung des Ionenstrahls zur Probe. Dieses Werkzeug besteht aus galvanometrischen Scannern und einer Fokuslinse zur Steuerung der Ablenkung der Flugbahn des Ionenstrahls. Der Gaskasten bietet eine kontrollierte Umgebung, um verschiedene Gase zu liefern, die benötigt werden, um eine Strukturierung oder Ätzung auf dem Substrat zu erzeugen. Die Gase werden dann ionisiert und als Plasma erzeugt, das dann in die Vakuumkammer gelangt. Die Vakuumkammer ist mit Ausnahme des Kammerfensters, das die Betrachtung der Probe ermöglicht und mit einer Kryopumpe verbunden ist, abgedichtet, um ein den Ionen und dem Substrat zugeordnetes Vakuum zur ordnungsgemäßen Ablation des Materials aufrechtzuerhalten. VS 300 ist für das Strukturieren und Ätzen von Substraten von Metallen, Halbleitern, Keramiken bis hin zu dünnen Filmen maßgeschneidert. Es hat ein fortgeschrittenes Strahlspannungspotentiometer auf seiner Kammer installiert, das die optimierten Prozessbedingungen ermöglicht, die mit dem spezifischen Material verbunden sind, das bearbeitet wird. Es ist in der Lage, Funktionsgrößen von 10nm bis 10µm herzustellen und Seitenverhältnisse bis zu 5:1 zu erreichen. Die Größe des Musters kann auch schnell mit Wiederholbarkeit und Genauigkeit angepasst und repliziert werden. Dieses Asset bietet auch zusätzliche Funktionen wie Modell X + Protokoll, Align X Protokoll, ein Feld generiert und fokussiert mit externen Tipps, und ein Muster-Generator. Insgesamt ist VEECO VS 300 eine zuverlässige, wiederholbare und genaue Ionenfräse. Es ist eine ideale Wahl für das anisotrope Ätzen und Fräsen von Eigenschaften mit hohem Seitenverhältnis in Materialien wie Metallen und Keramik. Das System ist eine optimale Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen zur Geräteherstellung, Dünnschichtverarbeitung und MEMs.