Gebraucht ADIXEN APR 4300 #9235406 zu verkaufen
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ID: 9235406
Wafer decontamination system, 12"
CIM: E84, SECS/GEM, GEM300
Main system:
Main mini environment Platform
Main CPU & ACDC module
SMIF System: (2) ASYST 2200 Indexers
Handler system:
Wafer notch alignment with spatula
(2) Harmonic arm drive assembly with wafer handler
APM Slider with shuttle arm
Process chambers:
Etching with E-chuck
Stripping
Rinse/Spin dry
(2) Load locks
(3) RF Generators, 1250 W
Auto WVDS controller
Accessories: Remote AC box
Main chamber:
Turbo pump: 1000ltr with controller
E-Chuck
TCP RF Match
Bias RF match
(2) RF Generators
100 sccm CL2 MFC
50 sccm BCL3 MFC
300 sccm O2 MFC
30 sccm N2 MFC
1000 sccm N2 MFC
100 sccm Ar MFC
50 sccm He UPC
Strip chamber:
DSQ RF Match
Heater paddle
RF Generator
Auto WVDS controller
2000 sccm O2 MFC
300 sccm N2 MFC
500 sccm H2O MFC With controller
Rinse/Dry: Spin dryer with vacuum chuck
2014 vintage.
ADIXEN APR 4300 ist eine langlebige und leistungsstarke Laborausrüstung und Zubehör der Marke ADIXEN. Diese Einheit ist eine Kombination einer Doppelmembranvakuumpumpe mit integriertem Regler. Es wurde entwickelt, um den Anforderungen anspruchsvoller Anwendungen für Laborgeräte und Zubehör gerecht zu werden. APR 4300 verfügt über eine Doppelmembran-Vakuumpumpe und einen integrierten Controller, der für einen zuverlässigen und effizienten Betrieb auch in anspruchsvollsten Laborumgebungen ausgelegt ist. Das Gerät ist mit einem 1/4 NPT Beschlag ausgestattet und hat eine maximale Pumpleistung von 8l/min. Es verfügt über einen leistungsstarken 1150W Motor mit 3-stufigem Betrieb und ist CE-zertifiziert für sicheren und zuverlässigen Betrieb. Das Gerät verfügt über einen eingebauten, selbstmessenden Ölnebelablauf, der die Lebensdauer des Filters verlängert und den Ölnebel formell reduziert. ADIXEN APR 4300 verfügt über ein farbiges LCD-Display, das Druck- und Durchflusswerte anzeigt, sodass Benutzer die Leistung des Systems einfach überwachen können. Das Gerät ist für den sicheren Betrieb ausgelegt und wird durch eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen vor Beschädigungen geschützt. Das Gerät hat einen IP 21C-Schutzgrad, ist UL-genehmigt und verfügt über einen isolierten Ventilatormotor, eine Überlastheizung, einen Überlaststromschutz und eine thermisch isolierte Anti-Überspannungskammer. APR 4300 ist mit einem einfach zu bedienenden modularen Design ausgestattet, was die Einrichtung und Wartung für Benutzer erleichtert. Die Einheit ist auch leicht und kompakt, so dass es einfach zu transportieren und zu lagern. Abschließend ist ADIXEN APR 4300 eine fortschrittliche und leistungsstarke Laborausrüstung und Zubehör. Es wurde entwickelt, um zuverlässige und effiziente Leistung auch in den anspruchsvollsten Umgebungen zu bieten. Das Gerät ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet und UL genehmigt. Darüber hinaus ist es dank seiner modularen Bauweise einfach einzurichten und zu warten. APR 4300 ist eine ideale Wahl für Laboranwendungen, die eine leistungsstarke und zuverlässige Vakuumpumpe und einen integrierten Controller benötigen.
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