Gebraucht SHIMADZU CTO-10A VP #170893 zu verkaufen

SHIMADZU CTO-10A VP ist eine fortschrittliche Thermooxidausrüstung für Reinraum-/Laborverarbeitungsumgebungen. Diese multifunktionale Maschine verfügt über Funktionen wie automatisierte thermische Oxidverarbeitung, chemische Dampfabscheidung und chemisch-mechanische Planarisierung. Es führt folgende Operationen durch: chemisch-mechanisches Polieren (CMP), chemische Dampfabscheidung (CVD) und chemische Dampfkatalytische Oxidation (CVCO). Mit diesen Verfahren werden Hochleistungskomponenten, insbesondere in der Mikroelektronik und optischen Bauelementen, hergestellt. CTO-10A VP ist mit einer Touch-Panel-Schnittstelle ausgestattet, so dass das Personal die Leistung der Maschine leicht überwachen kann. Darüber hinaus ist die Steuerung leistungsstark und dennoch flexibel und kann individuell auf die spezifischen Anforderungen zugeschnitten werden. Design und Layout sorgen für optimalen Betrieb sowie einfache Bedienung und Wartung. SHIMADZU CTO-10A VP verfügt über erweiterte Endpunkterkennungsfunktionen, die es ermöglichen, die Endpunkte des Oxidationsprozesses genau zu erkennen, ohne dass zusätzliche zeitaufwendige manuelle Endpunkterkennungsprozesse erforderlich sind. Die Einheit enthält auch eine zusätzliche Voroxidationsmethode, um eine stabile Oxidationstemperatur während der Oxidationsstufe zu gewährleisten. Zur Einhaltung konsistenter Temperaturniveaus ist CTO-10A VP mit einer PID-gesteuerten Temperaturregelmaschine ausgestattet. Das Werkzeug ist mit einer Vielzahl von Gasquellen kompatibel, von Luft/Argon bis Sauerstoff, Stickstoff und CF4. Der fortschrittliche Edelstahl-Duschkopf des CTO-10A liefert für jedes der Gase genau den gleichen Massenstrom. Darüber hinaus bietet die Anlage eine maximale Temperatur von 750 ° C und stellt sicher, dass sie Oxidprozessschritte mit hoher Präzision durchführen kann. Außerdem weist SHIMADZU CTO-10A VP einen 6-flächigen Wafer-Aligner auf, der im Einklang mit dem katalytischen Oxidationsverfahren arbeitet. Darüber hinaus verfügt das Modell über einen ACL-Prozess (Automatic Cassette Loading), der die Einrichtung von CVM-, CVD- und CVP-Operationen erleichtert. CTO-10A hochwertigen Materialien von VP helfen weiter, eine langlebige, sichere und umweltfreundliche Maschine zu schaffen. Diese High-Tech-Thermooxid-Ausrüstung ist eine leistungsfähige Bereicherung für jede Labor- oder Hightech-Verarbeitungsumgebung.