Gebraucht CYMER 5400 #293667156 zu verkaufen

CYMER 5400
Hersteller
CYMER
Modell
5400
ID: 293667156
Laser.
CYMER 5400 Laser ist ein gepulster Excimerlaser, der in Anwendungen wie fortschrittliche Lithographie, Dünnschichtabscheidung, Ätzen und nichtlineare Optik verwendet wird. Dieser Laser, der 1995 von der Firma CYMER, Inc. eingeführt wurde, verfügt über ein hocheffizientes Design, das in der Lage ist, über 75 Watt Ausgangsleistung bei allen Resonanzfrequenzen zu produzieren. Das einzigartige Design von 5400 umfasst einen 8-Bounce optischen Resonator, der omnidirektional Licht im ultravioletten (UV) und tiefen ultravioletten (DUV) Wellenlängenbereich emittiert. Der Laser verwendet ArF (193 nm), KrF (248 nm) und/oder XeCl (308 nm), um eine Vielzahl von Laserpulsen zu erzeugen, von einfachen oder doppelten Nanosekunden bis hin zu ultravioletten Sub-Picosekundenpulsen. Der Laser ist eine eigenständige Einheit, die neben einem Teilsystem der Strahlabgabeoptik, das saubere und stabile Laserpulse liefert, auch Kalibrier-, Steuerungs-, Bedienungs- und Rückkopplungselemente umfasst. Das Gerät verfügt über eine 10 GHz Ditherfunktion zur schnellen und präzisen Frequenzeinstellung sowie einen internen Temperaturregler und ein aktives Druckstabilisierungssystem. Dadurch erreicht der Anwender eine konstante und wiederholbare Leistung über Temperatur- und Druckbereiche hinweg. CYMER 5400 hat einstellbare Gesamtausgangsenergie, Pulswiederholfrequenz und Pulsbreiteneinstellungen und ist mit einer breiten Palette von gasförmigen Medien wie Stickstoff, Schwefelhexafluorid und Xenonchlorid kompatibel. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein eingebautes Sicherheitssystem, das sowohl mechanische als auch elektrische Verriegelungen verwendet, um die Sicherheit des Benutzers während des Betriebs zu gewährleisten. 5400 enthält auch einen automatischen Reinigungszyklus, um eine Beschädigung der optischen Komponenten des Lasers im Falle eines plötzlichen Druckereignisses (z. B. eines Netzstromausfalls) zu verhindern. Zusammenfassend ist CYMER 5400 ein hochmotorisierter, robuster Laser, der Anwendern eine umfangreiche Auswahl an Feinsteuerung, maximale Ausgangsenergie und ein zuverlässiges internes Sicherheitssystem bietet. Es ist ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug, das für viele Arten von Anwendungen geeignet ist, und seine Flexibilität und Leistung macht es zu einem der besten Laser für viele Branchen.
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