Gebraucht CYMER ELS 5300 #9245310 zu verkaufen

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Hersteller
CYMER
Modell
ELS 5300
ID: 9245310
Laser system Used with CANON FPA 3000 EX5 Stepper.
CYMER ELS 5300 ist eine Laserausrüstung für eine breite Palette von Halbleiterherstellungsanwendungen wie Lithographie, Ätzen, Glühen und Texturieren. Dieses robuste System bietet hochwertige, einheitliche Verarbeitungsfunktionen mit einem flexiblen Einheitendesign und fortschrittlicher Software. Es ist mit einem 5 kW Yb-Faserlaser, einer ultrastabilisierten Laserstrahlliefermaschine mit hoher Transmission und erweiterten Scanfunktionen ausgestattet. Der luftgekühlte Yb-Faserlaser erzeugt eine Leistung von 5 kW in einem kontinuierlichen, gleichmäßigen, stabilen Strahl über lange Arbeitsstrecken. Es bietet hohe Leistung mit einer verlängerten Lebensdauer und geringer Wartung. Das Laserstrahl-Lieferwerkzeug bietet eine präzise Abtastung des Arbeitsbereichs und verwendet fortschrittliche Galvanometer und Piezo-gesteuerte Scantechnologie für die genaue Platzierung von Laseraufnahmen. Die fortschrittliche digitale Steuerung bietet überlegene Prozessleistung, indem sie einfachen Zugriff auf benutzerdefinierte Rezepte für verschiedene Verarbeitungsanforderungen ermöglicht. Es verfügt außerdem über eine intelligente Autofokus- und Leistungssteuerung zur automatischen Einstellung der optimalen Verarbeitungsbedingungen, zur Eliminierung der Kalibrierungszeit und zur Bereitstellung einheitlicher, qualitativ hochwertiger Ergebnisse. CYMER ELS-5300 ist zudem mit einem integrierten Vision-Modell und Prozessüberwachungsfunktionen ausgestattet, um Genauigkeit und Sicherheit zu gewährleisten und gleichzeitig eine umfassende Prozesskontrolle zu gewährleisten. Die Laserausrüstung ELS 5300 ist eine robuste und vielseitige Lösung für die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterherstellung. Es bietet überlegene Leistung mit konsistenten, qualitativ hochwertigen Prozessen, hohem Durchsatz und hoher Systemzuverlässigkeit. Die 5 kW Leistung, einheitliche Strahlqualität, erweiterte Scanfunktionen und intelligente Autofokus- und Steuerungsfunktionen bieten die perfekte Plattform für eine breite Palette fortschrittlicher Lithographie-, Ätz-, Glüh- und Texturieranforderungen.
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