Gebraucht CYMER ELS 5300 #9260804 zu verkaufen

CYMER ELS 5300 ist ein moderater bis serienreicher Laser für die Halbleiterverarbeitung. Es nutzt die Resonatoroptik der nächsten Generation, um eine leistungsstarke und zuverlässige Laserquelle bereitzustellen. CYMER ELS-5300 bietet eine Vielzahl von Laserparametern, die bis zu 5 kW maximale Ausgangsleistung und bis zu 8 kHz Pulsfrequenz ermöglichen und somit ideal für Tiefenuv-Lithographie- und Hochvolumenverarbeitungsanwendungen geeignet sind. ELS 5300 beinhaltet eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, darunter eine integrierte optische Faserlieferausrüstung, fortschrittliche Kühlkammern und ein zuverlässiges Multi-Achsen-Bewegungssystem. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der räumlichen und zeitlichen Eigenschaften des Lasers und eine synchrone Laserpulsung. Herzstück von ELS-5300 ist die fortschrittliche Resonatoroptik, bestehend aus einem patentierten zweistufigen Design mit optimierten Spiegeln und einer hochwertigen Vakuumkammer. Dies sorgt für verbesserte Strahlcharakteristik mit verringerten Energieverlusten, was schnellere Verarbeitungsgeschwindigkeiten und einen verbesserten Durchsatz ermöglicht. CYMER ELS 5300 ist mit einer neuartigen Gasfülleinheit ausgestattet, die ein schnelles Umschalten zwischen Gasarten für Anwendungszwecke wie Ätzen oder selektive Abscheidung ermöglicht. Diese Maschine ermöglicht auch die Einführung von optischen Hilfsmitteln, wie Flüssigkristallpolarisatoren, um eine Feinsteuerung der Strahlcharakteristik zu ermöglichen. Der Laser ist als Teil eines mehrstufigen Produktionsprozesses mit einer Standardschnittstelle für den Anschluss an andere Halbleiterverarbeitungssysteme und -geräte integriert. Dazu gehören Stromversorgungs- und Überwachungssysteme sowie eine Software-Suite zur Aufzeichnung und Überwachung der Qualität des Laserausgangs. Schließlich ist CYMER ELS-5300 Laser eine ideale Wahl für eine präzise, volumenreiche Halbleiterproduktion. Die einzigartige Kombination aus Merkmalen, wie der zweiachsigen Resonatoroptik und dem Gasfüllwerkzeug, ermöglicht eine schnelle und zuverlässige Verarbeitung mit einem optimalen Gleichgewicht von Leistung und Präzision.