Gebraucht CYMER ELS 5305 #9293806 zu verkaufen
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CYMER ELS 5305 ist ein Excimer-Lasersystem der dritten Generation für die Herstellung von Halbleiterphotomasken und Komponenten. Es wurde in einer Vielzahl von Anwendungen wie Halbleiterherstellung, Gerätetest und medizinische Laserchirurgie weit verbreitet. ELS 5305 ist ein gepulster UV-Excimerlaser, der eine Mischung aus Xenon, Fluor und Chlorgasen verwendet, um einen Laserstrahl im Wellenlängenbereich von 248 nm zu erzeugen. Dieser Laserstrahl wird auf einen Fleck fokussiert, der etwa 1,5 mm Durchmesser auf der Oberfläche der Photomaske oder des Bauteils hat. Die Laserpulsdauer beträgt etwa 200 Nanosekunden, was eine extrem präzise Platzierung von Mustern auf VLSI-Schaltungen mit Merkmalsgrößen von 5 Mikrometern oder kleiner ermöglicht. CYMER ELS 5305 ist in der Lage, eine Brennrate von bis zu 500 Hz. Dadurch kann der Laser mehr als 5.000 Schaltungen auf einer einzigen Fotomaske belichten. Der Laser hat auch eine Leistung von bis zu 250 mJ pro Puls. Dieser Leistungspegel ermöglicht dem Laser präzise und qualitativ hochwertige Belichtungen ohne zusätzliche Anpassungen des Laserschwerpunkts oder seiner Steuerungssysteme. ELS 5305 ist mit einem automatisierten Ziel- und Belichtungssteuerungssystem ausgestattet, das eine effiziente und unabhängige Steuerung der Position, der Leistung und der Belichtungszeit des Lasers ermöglicht. Dieses Steuersystem ermöglicht auch feine Anpassungen des Laserstrahls Fokus, so dass der Laser präzise Muster auch die kleinsten Merkmale auf der Maske. Der Laser ist in einem Schrank untergebracht, in dem Temperaturkontrolle, Belüftung, Staubreduktion und Abgassysteme eingebaut sind. Dies trägt dazu bei, dass der Laser während des Betriebs kühl gehalten und Verschmutzungen ausreichend entfernt werden, bevor die Maschine wieder laufen kann. CYMER ELS 5305 ist bekannt für seine hohe Zuverlässigkeit, Qualität und Genauigkeit. Es ist die perfekte Wahl für eine breite Palette von Halbleiterphotomase- oder Bauteilproduktionsprozessen und gehört damit zu den gefragtesten Lasern der Branche.
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