Gebraucht CYMER ELS 5400 #9293807 zu verkaufen

CYMER ELS 5400
Hersteller
CYMER
Modell
ELS 5400
ID: 9293807
Weinlese: 1997
KrF Laser 1997 vintage.
CYMER ELS 5400 Excimer Laser ist ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug im Bereich der Mikroelektronik und Halbleiterherstellung. CYMER ELS-5400 ist ein gepulster Xenon-Chlor-Laser, der eine Wellenlänge von 193nm erzeugen kann. Diese Wellenlänge ist ideal für das Ätzen und Strukturieren verschiedener Halbleitermaterialien sowie für die Reparatur von Photomasken, die in den Lithographie- und Musterprozessen von Halbleiterbauelementen verwendet werden. ELS 5400 wird mit einem optischen Glas- und Metall-Hohlraum mit einer internen Kühleinrichtung gebaut, um sicherzustellen, dass das System sicher und effizient arbeitet. Es kann eine hohe Energiedichte mit einem extrem schnellen Laserpuls liefern und hat einstellbare Spotgrößen von 0,7 µm bis 15 µm Durchmesser. Benutzer sind in der Lage, verschiedene Pulsdauern und Spitzenenergien basierend auf ihren Bedürfnissen auszuwählen. ELS-5400 ist mit einem Ionenstrom-Monitor und einem Feuchtigkeitsindikator ausgestattet, um die Temperaturregelung innerhalb des Geräts beizubehalten, sowie mit einer sichtbaren Laserlichtdiode, um den Zustand der Maschine zu überprüfen. CYMER ELS 5400 wurde entwickelt, um Anwendern eine hochgenaue Ablationsstrategie zu bieten und gleichzeitig niedrige Betriebskosten zu erhalten. Dank seines benutzerfreundlichen Management- und Steuerungstools ist es einfach zu bedienen und erzielt konsequente Ergebnisse bei der Herstellung von mikroelektronischen Geräten und Komponenten. CYMER ELS-5400 bietet eine Vielzahl von Optionen, darunter integrierte automatisierte und manuelle Verarbeitung, eine ganzzahlige Stufe, Unterstützung für mehrere Laserköpfe und die Option einer Sichtlinien- oder Eisen-Kern-Strahllieferung für höchste Genauigkeit. Es verwendet fortschrittliche optische Design- und Steuerungstechnologien, um überlegene Strahlcharakteristika mit Strahlqualitätswerten von bis zu M 2 < 1,7 und einer Homogenität von weniger als 0,2% im gesamten Zielgebiet zu liefern. Insgesamt ist ELS 5400 ein wesentliches Werkzeug für Halbleiterherstellungsprozesse, die eine hohe Präzision und Präzisionskontrolle erfordern. Seine Kombination aus Energie, Geschwindigkeit, Spotgröße und einstellbarer Programmierung machen es zur perfekten Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.
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