Gebraucht CYMER ELS 6300 #154882 zu verkaufen

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Hersteller
CYMER
Modell
ELS 6300
ID: 154882
Weinlese: 2000
Laser, 2000 vintage.
CYMER ELS 6300 ist ein Hochleistungs-Excimerlaser, der in fortschrittlichen Waferbearbeitungsanwendungen wie der Herstellung von Halbleiterbauelementen, der Produktion von Flachbildschirmen und der fortschrittlichen Lithographie verwendet wird. Dieser Laser wurde für den Einsatz in der großvolumigen großflächigen Verarbeitung entwickelt und ist der leistungsstärkste der ELS-Serie, den CYMER anbietet. Der 6300 ist mit einem optisch gepumpten, getakteten Pulslaser ausgestattet, der von einem Ar-F-Lasergasgemisch mit einem Energieniveau von 300 mJ pro Puls angetrieben wird. Der Strahl wird über eine offene Kombinationsoptik erzeugt, die eine Verbindung aus kugelförmigen und zylindrischen Linsen und Ablenkern für einen glatten Übergang ohne Fokusfleckverzerrung verwendet. Ausgangsleistungsdichten von bis zu 20 Watts/cm2 führen zu sauberen Lithographiemustern und schnellen Produktionslinien. Dieser Laser ist auch in der Lage, schnelle Ablation bei niedrigen Impulsenergieeinstellungen, so dass ein höherer Prozessdurchsatz in Ätz- und Abscheidungsanwendungen. Die patentierte fortschrittliche Pulssteuerungstechnologie des 6300, das Thermal Control System, ermöglicht eine höhere Spitzenleistungssteuerung durch spezielle Algorithmen und berücksichtigt kritische Umweltfaktoren wie Druck, Temperatur und Stabilität der Lasereinheit. Dieser Laser verfügt auch über eine integrierte MEMS-basierte Strahlstabilitätsmaschine, die eine ausgezeichnete Strahlformgenauigkeit und Gleichmäßigkeit innerhalb von +/-0,5 mJ bietet. Darüber hinaus bietet es eine einfache und intuitive Wartung für schnellere Operationen und reduzierte Ausfallzeiten. Der Benutzer kann die Einstellungen mit seiner integrierten Ethernet-Verbindung remote anpassen und aktualisieren. ELS 6300 ist CE-zertifiziert und ISO-zertifiziert, was es zu einer zuverlässigen und zuverlässigen Wahl für erweiterte Waferbearbeitungsanwendungen macht. Mit seiner breiten Palette an fortschrittlichen Funktionen und zuverlässiger Leistung ist es eines der besten Lasersysteme, die derzeit auf dem Markt erhältlich sind.
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