Gebraucht CYMER ELS 6400 #9257275 zu verkaufen

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Hersteller
CYMER
Modell
ELS 6400
ID: 9257275
Weinlese: 2000
Laser Parts: Mega pulse: Chamber: 10,061 Hours LNM: 10,061 Hours WSM: 10,061 Hours 20% Output coupler: 10,061 Hours Cycle: F2 Trap: 451.9 Hours 2000 vintage.
CYMER ELS 6400 ist ein Hochleistungs-Lasersystem für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist eine zuverlässige, robuste und leistungsstarke Laserquelle, die in der Lage ist, kürzere, leistungsstärkere Laserpulse auf einer Vielzahl von Laserzielen zu erzeugen. CYMER ELS-6400 verfügt über ein Multi-Quer-Strahl-Emissionsschema, das es ermöglicht, einzelne, doppelte oder dreifache Impulse über maximal acht Laser-Zielzonen zu erzeugen. Dies ermöglicht eine ausgezeichnete Abdeckung und ausgezeichnete Verarbeitungsqualität in kürzerer Zeit. Der Laser arbeitet im Dauerwellen- (CW) oder Pulsmodus, wobei die Ausgangsleistung über einen weiten Bereich mit einstellbaren Pulsbreiten einstellbar ist. Seine Pulsdauer kann für Anwendungen mit hoher Empfindlichkeit angepasst werden, mit der Fähigkeit, Impulse so kurz wie 1 Picosekunde (1 x 10-12 Sekunden) zu erzeugen. ELS 6400 verfügt über eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, einschließlich einer hohen optischen Leistung, die einen erhöhten Durchsatz und eine bessere Ausbeute ermöglicht. Es enthält auch mehrere erweiterte Sicherheitsfunktionen, wie Übertemperatur-/Überspannungsschutz und Laser-Interlock für die Aufrechterhaltung der hohen Lasergenauigkeit. Der Laser kann auf eine Vielzahl von Anwendungen wie Overlay-Korrektur, genaue Belichtungskalibrierung, Entfernung von dicken Photolackschichten und präzises Trockenätzen von Photolackschichten angewendet werden. ELS-6400 basiert auf einer diodengepumpten Festkörperplattform, die eine hohe mittlere Leistung und Präzisionszeit liefern kann. Der Laser enthält einen fasergekoppelten Laserkopf, um ein genaues Strahlenzeigen und -position zu gewährleisten, mit einem Impulsaufnehmer zum Aktivieren/Deaktivieren/Verzögern des eigentlichen Laserpulses sowie einstellbaren Anzeigeelementen. CYMER ELS 6400 ist mit integrierten Diagnosefunktionen sowie einer USB-Dongle-Schnittstelle für die Fernbedienung ausgestattet. Dieses vielseitige Lasersystem bietet saubere, effiziente und genaue Leistung bei niedrigen Gesamtbetriebskosten. Die Maschine ist einfach zu bedienen und sehr zuverlässig, so dass es eine ideale Lösung für Produktionslinien.
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