Gebraucht CYMER ELS 6400 #9271083 zu verkaufen

CYMER ELS 6400 ist ein Pulsfarbstofflaser, der für die präzise Photolithographie verwendet wird. Es verwendet eine diodengepumpte Festkörperlasertechnologie, um Impulse bei 200 Femtosekunden zu erzeugen, was einen hohen Durchsatz und konsistente Ergebnisse liefert. Die Energie der Impulse wird durch eine höhere Wiederholrate von bis zu 4 kHz weiter erhöht. Dies trägt dazu bei, dass etwaige Effekte durch laserstrahlinduzierte Untergrunderwärmung minimiert werden und gleichzeitig die gewünschte Druckauflösung erreicht wird. CYMER ELS-6400 verfügt über eine innovative Doppelstrahlkonfiguration, die eine gleichzeitige Lithographie auf zwei getrennten Stellen des Gerätesubstrats ermöglicht. Das bedeutet, dass die Hochgeschwindigkeitsabbildungsprozesse bei höherem Durchsatz parallel erfolgen können. Dies ermöglicht auch eine höhere Genauigkeit, da der Laserstrahl auf die Genauigkeit basierend auf dem jeweiligen Oberflächenlayout des Substrats feinjustiert wird. Darüber hinaus bietet die Ausrüstung eine hochpräzise Spotgrößenkontrolle, bietet überlegene Druckprofile und die Fähigkeit, sehr kleine Funktionen zu drucken. Der Laser verwendet ein patentiertes mehrschichtiges Dithered-Energy-Delivery-System, das hocheffizient ist und einen verbesserten Dynamikbereich und eine höhere Geschwindigkeit im Vergleich zu Single-Stream-Systemen bietet. Dies hilft, die Variabilität der Laserquellen zu reduzieren, die Lithographieergebnisse zu verbessern und die Druckausbeute zu erhöhen. Außerdem hilft diese Einheit, die Lebensdauer der Laserquelle zu verlängern, da sie für jeden Impuls weniger Energie benötigt. ELS 6400 verfügt über eine komplette Reihe von Softwarewerkzeugen zur Steuerung des Maschinenbetriebs. Dies trägt dazu bei, dass das Werkzeug ordnungsgemäß eingerichtet wird und Lithographieverfahren die gewünschten Ergebnisse erzielen. Das Asset verfügt über ein automatisiertes Fokus-Anpassungsmodell, um konstant die beste Bildauflösung und -ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus verfügt der Laser über eine breite Palette von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich eines starken Schwerpunkts auf aktive Lasersicherheitsmaßnahmen. Das Gerät verwendet verschiedene Methoden, um die Exposition des Lasers gegenüber dem Bediener zu begrenzen, einschließlich Schutzbrillen für den Bediener und Verriegelungen. Dadurch wird sichergestellt, dass der Laser so betrieben wird, dass potenzielle Risiken oder Schäden für die Benutzer des Systems minimiert werden. Insgesamt ist ELS-6400 ein leistungsfähiger, zuverlässiger und sicherer Laser für präzise Photolithographie. Es bietet eine überlegene Leistung und einen hohen Durchsatz bei gleichzeitiger Gewährleistung von Genauigkeit und Sicherheit für den Bediener.