Gebraucht CYMER ELS 7600M #9240618 zu verkaufen

Hersteller
CYMER
Modell
ELS 7600M
ID: 9240618
Weinlese: 2006
KrF Laser Wave length: 248 nm Repetition rate: 4000 Hz Power linearity: < 3% Pulse duration: ≥15 ns Maximum output power: 30 W Beam divergence: Horizontal: 1.4 ± 0.05 mrad Vertical: 2.5 ± 0.08 mrad 2006 vintage.
CYMER ELS 7600M ist eine fortschrittliche Excimer-Laser-Ausrüstung zur Hochgeschwindigkeits-Strukturierung von Halbleiterscheiben. Diese Plattform bietet durch ihre proprietäre Technologie extrem präzise Funktionen zur Steuerung und Strukturierung von Laserstrahlen. Das Lasersystem bietet verbesserte Deckabstandsflexibilität, optimierte Pulseigenschaften und erweiterte Algorithmus-Einrichtung. ELS 7600M erzeugt einen unglaublich feinen Laserlichtstrahl, der Muster mit Steigungen von bis zu 0,15 μ m erzeugen kann. Diese Lasereinheit ist in der Lage, die Pulsdauer bis zu 5 μ s für eine bestmögliche Mustergenauigkeit abzustimmen. Mit einer erreichbaren Leistungsabgabe von 5 bis 200 mJ kann es eine Vielzahl von Musteraufgaben auf Mikroniveau hoher Dichte mit großer Genauigkeit durchführen. CYMER ELS 7600M verfügt über Laser in zahlreichen Wellenlängen, von 193 bis 351 nm, um die Laserstrahlcharakteristik sorgfältig auf jeden Abscheidungsprozess anzupassen und so die bestmöglichen Ergebnisse zu erzielen. Es bietet eine überlegene dynamische Steuerung, die eine tiefe Fokustiefe von bis zu 8 μ m und eine ausgezeichnete Stabilität für den Langzeitbetrieb in den anspruchsvollsten Umgebungen ermöglicht. Der optische Abstand der Lasermaschine ist für maximalen Wirkungsgrad von 60 bis 600 mm einstellbar. Der Laserkopf ist an einem Satz von drei vertikalen Scan-Galvos befestigt, die eine hochgenaue und effiziente Abtastung ermöglichen, indem die Position des Laserflecks auf dem Ziel gesteuert wird. ELS 7600M kann bis zu achtmal schneller Muster erzeugen als seine Konkurrenzsysteme, und mit einem Puls-Grad-Makro bis zu 50000 Zeilen pro Sekunde liefert es eine beispiellose Produktionsgeschwindigkeit. Das Laserwerkzeug verfügt auch über eine integrierte Strahlansichtskamera, die die Scans überwacht und dynamische Bilder der Ausgabe in Echtzeit ausgibt. Die intuitive Software unterstützt Ingenieure bei der präzisen und schnellen Einrichtung der Laseranlage für höchste Präzision. Darüber hinaus ermöglicht die proprietäre Software zur Datenerfassung und -steuerung eine Fernüberwachung und -steuerung des Lasers für erweiterte Netzwerk- und Überwachungsfunktionen. Insgesamt ist CYMER ELS 7600M ein fortschrittliches Excimer-Lasermodell, das entwickelt wurde, um Hochgeschwindigkeitsmuster von Halbleiterscheiben mit außergewöhnlicher Genauigkeit und Präzision durchzuführen. Seine beeindruckenden Eigenschaften, darunter einstellbare Wellenlängen, dynamische Impulssteuerung und optimierte Strahlmusterung, machen das Gerät ideal für extrem anspruchsvolle Anwendungen.
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