Gebraucht CYMER XLA 140 #9296982 zu verkaufen
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CYMER XLA 140 ist eine Lichtquelle, die im Lithographieverfahren für die Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist in der Lage, leistungsstarke Laserpulse bis zu 140 mJ bei 40 Hz zu produzieren, was es ideal für den Einsatz in fortgeschrittenen Mikrofabrikationsanwendungen macht. CYMER XLA140 ist ein Festkörper-Hybrid-Excimer-Laser mit einem einzigartigen optischen Design, das Nd: YAG und KrF Active Media kombiniert. Das System ist mit einer einfach zu bedienenden, hochflexiblen, benutzerfreundlichen Architektur konzipiert, und seine maximale Impulsenergie kann an spezifische Anwendungsanforderungen angepasst werden. Der Impulsenergie-Regelbereich beträgt 5 - 140 mJ, mit Sub-Picosekunden-Dauern und Puls-zu-Impuls-Stabilität bis innerhalb von 5%. Das System verfügt außerdem über ein hochauflösendes Raumamplitudenfilter und ein fortschrittliches Stromversorgungsdesign, das Pulsauslösungen mit Null-Jitter ermöglicht. XLA-140 wurde entwickelt, um den Bedarf an Lithographie mit mittlerer bis niedriger Leistung zu decken. Es verfügt über eine integrierte hochpräzise wassergekühlte Strahllinie, die für eine effiziente und risikoarme Vor- und Nachkonditionierung von Strahlungsparametern ausgelegt ist. Dies gewährleistet eine gleichbleibende Strahlqualität und senkt die Betriebskosten sowie das thermische Belastungspotenzial. Der Laser arbeitet mit einem einzigen Excimerlaser mit einer Gesamtenergieleistung von 4 kW bei einer Ausgangsleistung von bis zu 50.000 W/cm2 Pulsintensität. Die Leistungsanforderungen werden durch einen Standard 208 VAC, 20 Ampere Eingang leicht erfüllt. XLA140 hat auch eine kompakte Stellfläche, mit Abmessungen von 13,9 "(H) x 40,7" (B) x 52 "(L). Es ist sowohl zur normalen als auch zur invertierten Orientierungsmontage in der Lage und verfügt über eine hohe Schwingungsisolation. Mit seiner einfachen Installation, erweiterten Funktionen und niedrigen Betriebskosten ist CYMER XLA-140 eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Anforderungen an Präzisions-Mikrofabrikation.
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